4M-1841-002w_F8S - 第84页
4OM-1841 1-4-9 1605-001 周期 : 每三个月 ( 所需时间 :10 分钟 ) 滤盒 C 过滤器 Procedure (1) 卸下装置正面下部机盖的固定螺丝钉 (4 个 ) 后,卸下机盖。 (2) 按箭头 C 的方向转动滤盒卸下,再卸下里面的过滤器。 (3) 用吹气进行清扫。 Note 过滤器在运行时的真空压降低的情况,请…

4OM-1841
1-4-8
周期 : 每天 ( 所需时间 :1 分钟 )
真空压
Procedure
请目视确认真空压。
真空阀全开时:Min.-93kPa(Min.70cmHg) 以上
运转时 :Min.-60kPa(Min.45cmHg) 以上
Note
当真空压不足时,可能是真空线路的空气泄露或真空泵发生了故障。
1605-001

4OM-1841
1-4-9
1605-001
周期 : 每三个月 ( 所需时间 :10 分钟 )
滤盒
C
过滤器
Procedure
(1)卸下装置正面下部机盖的固定螺丝钉 (4 个 ) 后,卸下机盖。
(2)按箭头 C 的方向转动滤盒卸下,再卸下里面的过滤器。
(3)用吹气进行清扫。
Note
过滤器在运行时的真空压降低的情况,请更换新的过滤器。
(4)将机盖推上去安装,拧紧固定螺钉。
Notice

4OM-1841
1-4-10
1605-001
请勿使手碰到基准标准拼块。
如果对基准标记拼块施加大力,则可能导致变形。
元件识别照相机(4处)
每天 清扫 所需时间:4分钟
基准标记块
元件排出箱
每天 清扫 所需时间:1分钟
基准标记(4处)
每周 清扫 所需时间:2分钟
Note
请用吸引源(吸尘器)等进行清扫。请勿吹气(气枪)等。进行鼓风,则
装置内部的垃圾、灰尘飞散,可能会导致识别及装置的动作无法正确进行。