SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第121页
3- 100 SER01989020 調整 第 3 章 6 6 . 作動軸部 本機の作動軸は、次の軸から構成されています。 40143601-00 作動軸 機能 駆動方式 W軸 Z軸 X軸 Y軸 R軸 T軸 ACモーター/ボールスクリュー ACモーター/ボールスクリュー ACモーター/ボールスクリュー ACモーター/ボールスクリュー …
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調整
第
3
章
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5.2 圧力レギュレーター（駆動バルブ系）
この圧力レギュレーターは前項の真空発生器系とは別系統になっており、各部の
エアシリンダーに圧力を供給しています。また圧力低下による誤動作を防ぐため
に、圧力低下検出スイッチが付いています。この圧力レギュレーターと圧力低下
検出スイッチの調整方法を説明します。圧力を調整する前に、供給エア圧力（元
圧）が適正範囲（0.6 ∼ 0.7MPa）になっていることを確認してください。
1
B テーブル側の右下パネルを開きます。
内部に駆動バルブ系の圧力調整バルブ、圧力表示計、残圧排気バルブがありま
す。
2
圧力を調整します。
圧力調整バルブをまわして、圧力表示針（黒）が 0.45 ∼0.5MPa を指すよう
に調整してください。
■ 圧力調整バルブ（駆動バルブ系）
20143502-00
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
0.0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1.0
MPa
(kgf/cm )
2
圧力表示計
圧力調整バルブ
(駆動バルブ系)
調整ネジ
(圧力低下検出スイッチ用)
残圧解放スイッチ
c
注意
この圧力レギュレーターの設定が不適切な場合、エアシリンダーの駆動状態が定まりません。必ず
適正範囲内に設定してください。
3
圧力低下検出スイッチの設定針（赤）を調整します。
小型ドライバーなどで圧力表示計の調整ネジを回して、圧力低下検出スイッチ
の設定針（赤）が0.4 ∼ 0.45MPaを指すように調整してください。
c
注意
圧力低下検出レベルの設定が不適切な場合、エア供給状態の異常（圧力低下）を検出できません。
必ず適正範囲内に設定してください。
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調整
第
3
章
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6. 作動軸部
本機の作動軸は、次の軸から構成されています。
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作動軸 機能 駆動方式
W軸
Z軸
X軸
Y軸
R軸
T軸
ACモーター/ボールスクリュー
ACモーター/ボールスクリュー
ACモーター/ボールスクリュー
ACモーター/ボールスクリュー
ACモーター/ラック＆ピニオン
ACモーター/ ベルトドライブ
基板を搬送するコンベア幅を調整しま
す。搬入コンベア(W1)、Aテーブルコン
ベア(W2)、Bテーブルコンベア(W3)、搬
出コンベア(W4)の4つに分かれています。
ヘッド部全体を上昇・下降させます。
ヘッド部を基板搬送方向と平行(本体に向
かって左右方向)に移動させます。Aテー
ブル側をX1軸、Bテーブル側をX2軸と呼
びます。
A・Bテーブルを基板搬送方向と直角(本
体に向かって前後方向)に移動させます。
AテーブルをY1軸、BテーブルをY2軸と
呼びます。
各ヘッドのノズルシャフトを回転させま
す。Aテーブル側をR1軸、Bテーブル側
をR2軸と呼びます。
基板を搬入・搬出させるためのトランス
ファーフックを移動させます。
■ 軸構成とプラス・マイナス方向（標準仕様）
10143602-00
R2
-axis
HEAD
+
–
+
–
+
–
+
–
X2
-axis
W1
-axis
W2
-axis
W3
-axis
+
–
+
–
+
–
+
–
+
–
W4
-axis
Z2
-axis
Y2
-axis
R1
-axis
HEAD
+
–
+
–
+
–
+
–
X1
-axis
Z1
-axis
Y1
-axis
T-axis
112
112
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軸移動の再現性や部品の搭載精度を保つために、作動軸に関する下記の項目が正
しく設定されていなければなりません。
■ 作動軸に関する調整項目と設定値
40143602-01
マシンリファレンス
2次リミット
ソフトリミット
初期位置
初期移動
項目 対象軸
設定値
W､Z､X､Y､R､T軸
X軸
Y軸
W軸
Z軸
X軸 (Aテーブル)
X軸 (Bテーブル)
Y軸
R軸
T軸
W軸
R軸
T軸
T軸
35∼65％
メカリミットより5.0mm内側の位置
メカリミットより3.0mm内側の位置
メカリミットより3.0mm内側の位置
メカリミットより1.0mm内側の位置
ﾌﾟﾗｽ側：ﾍｯﾄﾞ1基準でﾌｨｰﾀﾞｰ56番の吸着位置より右3.5mm(注1)
ﾏｲﾅｽ側：ﾍｯﾄﾞ1基準でﾌｨｰﾀﾞｰ12番の吸着位置より左3.5mm(注1)
ﾌﾟﾗｽ側：ﾍｯﾄﾞ1基準でﾌｨｰﾀﾞｰ112番の吸着位置より右3.5mm(注2)
ﾏｲﾅｽ側：ﾍｯﾄﾞ1基準でﾌｨｰﾀﾞｰ156番の吸着位置より左3.5mm(注2)
メカリミットより6.0mm内側の位置
メカリミットより9.0゜内側の位置
メカリミットより5.0mm内側の位置
(原点復帰のコンベア幅−0.5mm)にマイナス符号を付けた値
(プラス側メカリミット＋マイナス側メカリミット)×1/2
Ａテーブル・メインストッパーと中央爪が当たる位置
430mmに固定
(注1)Ａテーブル側から見た場合
(注2)Ｂテーブル側から見た場合