SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第179页
5- 11 SER01989020 電源接続・ I/O リスト・その他 第 5 章 2 識別 役割 NE01 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 装着判定 装 着 NG 1 / 装 着 OK 0 NE02 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 装着判定 装 着 NG 1 / 装 着 OK 0 NE03 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 装着判定 装 着 NG 1 / 装 着 OK 0 NE04 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 装着判定 装 着 NG 1 / 装 着 OK …
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SER01989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
2.2 DI
識別 役割
NA01 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA02 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA03 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA04 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA05 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA06 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA07 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA08 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA09 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA10 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA11 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA12 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NA13 予備
NA14 予備
NA15 予備
NA16 予備
NB01 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB02 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB03 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB04 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB05 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB06 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB07 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB08 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB09 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB10 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB11 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB12 Aﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NB13 予備
NB14 予備
NB15 予備
NB16 予備
識別 役割
NC01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC02 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC03 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC04 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC05 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC06 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC07 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC08 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC09 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC12 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NC13 予備
NC14 予備
NC15 予備
NC16 予備
ND01 AﾃｰﾌﾞﾙＸ軸原点
検出 0
ND02 予備
ND03 予備
ND04 AﾃｰﾌﾞﾙＸ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
ND05 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ下降
検出 0
ND06 予備
ND07 基板判別 FRONT
常時 1
ND08 +24VOK, 基板判別 HEAD
常時 1
ND09 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
ND10 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ完了
完了 1
ND11 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾀｲﾑｱｳﾄ
通常 0 / ﾀｲﾑｱｳﾄ 1
ND12 Aﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
ND13 予備
ND14 予備
ND15 予備
ND16 予備
5-
11
SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
NE01 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE02 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE03 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE04 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE05 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE06 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE07 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE08 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE09 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE10 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE11 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE12 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE13 予備
NE14 予備
NE15 予備
NE16 予備
NF01 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF02 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF03 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF04 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF05 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF06 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF07 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF08 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF09 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF10 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF11 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF12 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF13 予備
NF14 予備
NF15 予備
NF16 予備
識別 役割
NG01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG13 予備
NG14 予備
NG15 予備
NG16 予備
NH01 BﾃｰﾌﾞﾙＸ軸原点
検出 0
NH02 予備
NH03 予備
NH04 BﾃｰﾌﾞﾙＸ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NH05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ下降
検出 0
NH06 予備
NH07 基板判別 REAR
常時 0
NH08 +24V OK, 基板判別 HEAD
常時 1
NH09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
NH10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ完了
完了 1
NH11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾀｲﾑｱｳﾄ
通常 0 / ﾀｲﾑｱｳﾄ 1
NH12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
NH13 予備
NH14 予備
NH15 予備
NH16 予備
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12
SER01989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
NJ01 AﾃｰﾌﾞﾙＹ軸原点
検出 0
NJ02 AﾃｰﾌﾞﾙＷ１軸原点
検出 0
NJ03 AﾃｰﾌﾞﾙＷ２軸原点
検出 0
NJ04 ﾘﾚｰ予備
NJ05 AﾃｰﾌﾞﾙＹ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NJ06 予備
NJ07 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ（16）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ08 前側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ09 ﾌﾙｷｰﾎﾞｰﾄﾞ無効 ｻｰﾋﾞｽｷｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ（40）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ11 前側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ12 基板搬出許可（GATE IN）
受信時 1
NJ13 ｶﾊﾞｰEMG解除（ｻｰﾋﾞｽｷｰ）
通常 1 / 解除 0
NJ14 ｺﾝﾀｸﾀｰ OK
ｺﾝﾀｸﾀｰON時 1
NJ15 ｶｳﾝﾄﾘｾｯﾄ
受信時 1
NJ16 基板判別 CONVEYOR
常時 1
NK01 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 1
確認 1
NK02 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 2
確認 1
NK03 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 3
確認 1
NK04 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 4
確認 1
NK05 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 5
確認 1
NK06 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 6
確認 1
NK07 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 7
確認 1
NK08 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 8
確認 1
NK09 予備
NK10 予備
NK11 予備
NK12 予備
NK13 予備
NK14 予備
NK15 予備
NK16 予備
識別 役割
NL01 Aﾃｰﾌﾞﾙ入口ｽﾄｯﾊﾟｰ1基板検出
検出 1
NL02 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ入口基板検出
検出 1
NL03 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ出口基板検出
検出 1
NL04 予備
NL05 予備
NL06 予備
NL07 使用不可
常時 1
NL08 使用不可
常時 1
NL09 Aﾃｰﾌﾞﾙ基板固定位置基板検出
検出 1
NL10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN02= 1 / TN02= 0）
NL11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1 上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN03= 1 / TN03= 0）
NL12 Aﾃｰﾌﾞﾙ出口基板検出
検出 1
NL13 予備
NL14 予備
NL15 予備
NL16 予備
NM01 BﾃｰﾌﾞﾙＹ軸原点
検出 0
NM02 BﾃｰﾌﾞﾙＷ４軸原点
検出 0
NM03 BﾃｰﾌﾞﾙＷ３軸原点
検出 0
NM04 ﾄﾗﾊﾞｰｻｰ原点
検出 0
NM05 BﾃｰﾌﾞﾙＹ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NM06 予備
NM07 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ（16）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM08 後側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM09 ｴｱｰ圧力ﾀﾞｳﾝ検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ（40）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM11 後側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM12 基板搬送爪上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
NM13 基板搬送爪過負荷
NM14 SMEMA DISCRIMINATION
検出 1
NM15 SMEMA BA IN
検出 1
NM16 基板判別 CONVEYOR
常時 1