SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第180页
5- 12 SER01989020 電源接続・ I/O リスト・その他 第 5 章 2 識別 役割 NJ01 Aﾃｰﾌﾞﾙ Ｙ軸原点 検出 0 NJ02 Aﾃｰﾌﾞﾙ Ｗ１軸原点 検出 0 NJ03 Aﾃｰﾌﾞﾙ Ｗ２軸原点 検出 0 NJ04 ﾘﾚｰ予 備 NJ05 AﾃｰﾌﾞﾙＹ 軸 ﾘﾐｯﾄ 検出 0 NJ06 予 備 NJ07 前 側 ﾌｨｰﾀﾞｰ （1 6 ）浮き検出 正 常 時 1 / ｴﾗ ｰ 時 0 N J 0 8 前側…
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SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
NE01 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE02 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE03 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE04 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE05 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE06 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE07 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE08 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE09 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE10 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE11 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE12 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 装着判定
装着NG 1 / 装着OK 0
NE13 予備
NE14 予備
NE15 予備
NE16 予備
NF01 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD1 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF02 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD2 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF03 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD3 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF04 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD4 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF05 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD5 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF06 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD6 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF07 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD7 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF08 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD8 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF09 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD9 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF10 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD10 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF11 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD11 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF12 Bﾃｰﾌﾞﾙ HEAD12 吸着判定
吸着NG 0 / 吸着OK 1
NF13 予備
NF14 予備
NF15 予備
NF16 予備
識別 役割
NG01 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG02 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ02 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG03 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ03 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG04 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ04 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG05 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ05 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG06 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ06 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG07 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ07 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG08 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ08 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG09 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ09 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ10 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ11 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG12 Bﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ12 の下降端
上昇時 1 / 下降時 0
NG13 予備
NG14 予備
NG15 予備
NG16 予備
NH01 BﾃｰﾌﾞﾙＸ軸原点
検出 0
NH02 予備
NH03 予備
NH04 BﾃｰﾌﾞﾙＸ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NH05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ下降
検出 0
NH06 予備
NH07 基板判別 REAR
常時 0
NH08 +24V OK, 基板判別 HEAD
常時 1
NH09 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾀｲﾏｰﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
NH10 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ完了
完了 1
NH11 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾀｲﾑｱｳﾄ
通常 0 / ﾀｲﾑｱｳﾄ 1
NH12 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽﾋﾞｼﾞｰ
通常 0 / 動作中 1
NH13 予備
NH14 予備
NH15 予備
NH16 予備
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SER01989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
NJ01 AﾃｰﾌﾞﾙＹ軸原点
検出 0
NJ02 AﾃｰﾌﾞﾙＷ１軸原点
検出 0
NJ03 AﾃｰﾌﾞﾙＷ２軸原点
検出 0
NJ04 ﾘﾚｰ予備
NJ05 AﾃｰﾌﾞﾙＹ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NJ06 予備
NJ07 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ（16）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ08 前側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ09 ﾌﾙｷｰﾎﾞｰﾄﾞ無効 ｻｰﾋﾞｽｷｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ（40）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ11 前側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NJ12 基板搬出許可（GATE IN）
受信時 1
NJ13 ｶﾊﾞｰEMG解除（ｻｰﾋﾞｽｷｰ）
通常 1 / 解除 0
NJ14 ｺﾝﾀｸﾀｰ OK
ｺﾝﾀｸﾀｰON時 1
NJ15 ｶｳﾝﾄﾘｾｯﾄ
受信時 1
NJ16 基板判別 CONVEYOR
常時 1
NK01 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 1
確認 1
NK02 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 2
確認 1
NK03 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 3
確認 1
NK04 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 4
確認 1
NK05 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 5
確認 1
NK06 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 6
確認 1
NK07 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 7
確認 1
NK08 A-ﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 8
確認 1
NK09 予備
NK10 予備
NK11 予備
NK12 予備
NK13 予備
NK14 予備
NK15 予備
NK16 予備
識別 役割
NL01 Aﾃｰﾌﾞﾙ入口ｽﾄｯﾊﾟｰ1基板検出
検出 1
NL02 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ入口基板検出
検出 1
NL03 Aﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ出口基板検出
検出 1
NL04 予備
NL05 予備
NL06 予備
NL07 使用不可
常時 1
NL08 使用不可
常時 1
NL09 Aﾃｰﾌﾞﾙ基板固定位置基板検出
検出 1
NL10 Aﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN02= 1 / TN02= 0）
NL11 Aﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1 上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN03= 1 / TN03= 0）
NL12 Aﾃｰﾌﾞﾙ出口基板検出
検出 1
NL13 予備
NL14 予備
NL15 予備
NL16 予備
NM01 BﾃｰﾌﾞﾙＹ軸原点
検出 0
NM02 BﾃｰﾌﾞﾙＷ４軸原点
検出 0
NM03 BﾃｰﾌﾞﾙＷ３軸原点
検出 0
NM04 ﾄﾗﾊﾞｰｻｰ原点
検出 0
NM05 BﾃｰﾌﾞﾙＹ軸ﾘﾐｯﾄ
検出 0
NM06 予備
NM07 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ（16）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM08 後側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM09 ｴｱｰ圧力ﾀﾞｳﾝ検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ（40）浮き検出
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM11 後側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
正常時 1 / ｴﾗｰ時 0
NM12 基板搬送爪上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
NM13 基板搬送爪過負荷
NM14 SMEMA DISCRIMINATION
検出 1
NM15 SMEMA BA IN
検出 1
NM16 基板判別 CONVEYOR
常時 1
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SER01989020
電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
2
識別 役割
NN01 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 1
確認 1
NN02 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 2
確認 1
NN03 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 3
確認 1
NN04 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 4
確認 1
NN05 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 5
確認 1
NN06 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 6
確認 1
NN07 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 7
確認 1
NN08 Bﾃｰﾌﾞﾙ ﾉｽﾞﾙ 8
確認 1
NN09 予備
NN10 予備
NN11 予備
NN12 予備
NN13 予備
NN14 予備
NN15 予備
NN16 予備
NP01 Bﾃｰﾌﾞﾙ入口ｽﾄｯﾊﾟｰ基板検出
検出 1
NP02 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ入口基板検出
検出 1
NP03 Bﾃｰﾌﾞﾙｺﾝﾍﾞｱ出口基板検出
検出 1
NP04 予備
NP05 予備
NP06 予備
NP07 使用不可
常時 1
NP08 使用不可
常時 1
NP09 Bﾃｰﾌﾞﾙ基板固定位置基板検出
検出 1
NP10 Bﾃｰﾌﾞﾙﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN08= 1 / TN08= 0）
NP11 Bﾃｰﾌﾞﾙﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ上昇端
上昇時 1 / 下降時 0
（TN09= 1 / TN09= 0）
NP12 Bﾃｰﾌﾞﾙ出口基板検出
検出 1
NP13 予備
NP14 予備
NP15 予備
NP16 予備
識別 役割
NQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ （ﾘﾚｰ予備）
NQ06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ15 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR15 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NR16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備