SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第35页
3- 14 SER01989020 調整 第 3 章 1 1.1.2 真空発生動作の確認 ヘッド 1 ∼ 1 2 の真空発生動作の確認方法を説明します。また、真空発生器の発 生真空度を測定することで、メンテナンス（清掃または交換）の必要性が判断で きます。あらかじめ、真空ゲージを用意してください。 e 1 非常停止ボタンを押します。 2 出力モニタ−画面を開き、対象ヘッドを選択します。 1. 「 3/4/C1 出力モニター」を選択実行し…
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調整
第
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章
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■ ヘッド下降駆動バルブ
20143101-00
手動ボタン
e
参考
Step 2 で正常に動作しない場合は、出力モニターを使わずに、次のように動作確認をしてくださ
い。
・非常停止ボタンを押します。
・先のとがった小型ドライバーなどで、駆動バルブの手動ボタンを押して ヘッドを下降させます。
この操作で正常に動けば、駆動バルブの電気的機能の不具合が考えられます。以下の点を調べてく
ださい。
電磁コイル断線、ハーネスコネクタ緩み、DC24V異常、I / Oボート出力異常...手動ボタンを押
しても正常に動作しない場合は、エア供給、配管、およびピペット弁機能の不具合（破損・異物噛
み込み・固着）が考えられます。ヘッドのエア回路も調べてください。
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1.1.2 真空発生動作の確認
ヘッド1 ∼ 12 の真空発生動作の確認方法を説明します。また、真空発生器の発
生真空度を測定することで、メンテナンス（清掃または交換）の必要性が判断で
きます。あらかじめ、真空ゲージを用意してください。
e
1
非常停止ボタンを押します。
2
出力モニタ−画面を開き、対象ヘッドを選択します。
1.「3/4/C1 出力モニター」を選択実行します。
2. 矢印キーを使って、カーソルを「ヘッド吸着/A テーブル」欄の「TA01
∼12」または「ヘッド吸着/B テーブル」欄の「TE01∼12」に合わせま
す。
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[↑↓←→]で選択し [Enter]で実行
[ESC]:中断,ｺﾏﾝﾄﾞｳｨﾝﾄﾞｳﾍ
出力ﾓﾆﾀｰ
指定アーム:Aﾃｰﾌﾞﾙ XY軸
軸移動速度: 100
TA01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の吸着
名 称 IN
ﾍｯﾄﾞ吸着/AﾃｰﾌﾞﾙTA01-08 10000000
名 称 OUT
3
[ENTER] キーを押して、対象ヘッドの真空発生をさせます。
4
真空発生を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てて、実際に吸着が発生していること
を確認します。
■ 真空発生の確認
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ノズル
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ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。
下図のように、「タイプ53」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ
足してから真空ゲージを接続して、真空度（mmHg）を測定してください。
■真空ゲージ接続例
20143104-00
ノズル
エアチューブ
真空ゲージ
参考
真空ゲージで測定した結果が -500mmHg 以下になる場合は、真空発生経路（ノズルシャフト、エ
アホース等）の汚れ、またはノズル詰まりが考えられます。上記以外の場合は、真空発生装置の機
能低下が考えられます。