SER01989020_YV112III Service_J.pdf - 第36页
3- 15 SER01989020 調整 第 3 章 1 5 ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。 下図のように、 「タイプ 5 3 」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ 足してから真空ゲージを接続して、真空度（ mmHg ）を測定してください。 ■真空ゲージ接続例 20143104-00 ノズル エアチューブ 真空ゲージ 参考 真空ゲージで測定した結果が -500mmHg 以下になる場合は、真空発生経路…
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調整
第
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章
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1.1.2 真空発生動作の確認
ヘッド1 ∼ 12 の真空発生動作の確認方法を説明します。また、真空発生器の発
生真空度を測定することで、メンテナンス（清掃または交換）の必要性が判断で
きます。あらかじめ、真空ゲージを用意してください。
e
1
非常停止ボタンを押します。
2
出力モニタ−画面を開き、対象ヘッドを選択します。
1.「3/4/C1 出力モニター」を選択実行します。
2. 矢印キーを使って、カーソルを「ヘッド吸着/A テーブル」欄の「TA01
∼12」または「ヘッド吸着/B テーブル」欄の「TE01∼12」に合わせま
す。
60143012-00
[↑↓←→]で選択し [Enter]で実行
[ESC]:中断,ｺﾏﾝﾄﾞｳｨﾝﾄﾞｳﾍ
出力ﾓﾆﾀｰ
指定アーム:Aﾃｰﾌﾞﾙ XY軸
軸移動速度: 100
TA01 Aﾃｰﾌﾞﾙﾍｯﾄﾞ01の吸着
名 称 IN
ﾍｯﾄﾞ吸着/AﾃｰﾌﾞﾙTA01-08 10000000
名 称 OUT
3
[ENTER] キーを押して、対象ヘッドの真空発生をさせます。
4
真空発生を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てて、実際に吸着が発生していること
を確認します。
■ 真空発生の確認
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ノズル
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ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。
下図のように、「タイプ53」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ
足してから真空ゲージを接続して、真空度（mmHg）を測定してください。
■真空ゲージ接続例
20143104-00
ノズル
エアチューブ
真空ゲージ
参考
真空ゲージで測定した結果が -500mmHg 以下になる場合は、真空発生経路（ノズルシャフト、エ
アホース等）の汚れ、またはノズル詰まりが考えられます。上記以外の場合は、真空発生装置の機
能低下が考えられます。
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1.1.3 真空センサーの機能の確認
以下の手順で真空センサーの機能を確認します。
1
前述のStep 1 ∼3で対象ヘッドの真空発生器を動作させてお
きます。
2
「3/4/ 手動」→「A3 真空センサー」コマンドを実行します。
操作ディスプレイに真空センサーレベルが表示されます。
■真空センサーレベル表示
60143113-00
<ｺﾏﾝﾄﾞﾘｽﾄ> A/状態選択
真空ｾﾝｻｰﾚﾍﾞﾙ
現在値
137
0
0
0
0
0
上限値
187
0
0
0
0
0
下限値
3
0
0
0
0
0
ﾍｯﾄﾞ
A1
A2
A3
A4
A5
A6
3
対象ヘッドを選択します。
矢印キーを使って、画面表示を「A1 ∼A12」（A テーブル）または「B1 ∼
B12」（B テーブル）の対象ヘッドに合わせます。
4
吸着センサーの機能を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てたり離したりして、対応する吸着セ
ンサーの「現在値」表示（棒グラフと数字）が変化することを確認します。吸
着センサーが正常であれば、ノズル開口部を指で塞いだときに表示レベルが上
がります。
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出力モニター画面に戻り、対象ヘッドの吸着動作を止めます。
対象ヘッドにカーソルを合わせ、[ENTER] キーを押すと、真空発生器が止まり
ます。