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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 10 マスクク リーニング( パッキン式) L =370mm Mask C leaning(Packing) L=370mm ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 MTKA003847AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section …
10
マスククリーニング(パッキン式) L=370mm
Mask Cleaning(Packing) L=370mm
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA003847AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O27
( KMTKA003847AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
10
マスククリーニング(パッキン式) L=370mm
Mask Cleaning(Packing) L=370mm
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA003847AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
NOZZLE
1
1 MTPA005967AA
GASKET
2
2 MTNP000419AA 65TSV5-5 L=356
PAPER
1
3 N510068906AA
A
PN-103
TUBE
1
4 N510057155AA
O28
--
( KMTKA003847AA-01 )
11
マスククリーニング(パッキン式) L=270mm
Mask Cleaning(Packing) L=270mm
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000305AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O29
( KMTKA000305AA-01 )