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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11 マスクク リーニング( パッキン式) L =270mm Mask C leaning(Packing) L=270mm ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 MTKA000305AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section …
11
マスククリーニング(パッキン式) L=270mm
Mask Cleaning(Packing) L=270mm
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000305AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O29
( KMTKA000305AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
11
マスククリーニング(パッキン式) L=270mm
Mask Cleaning(Packing) L=270mm
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000305AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
NOZZLE
1
1 MTPA004880AA
SHAFT
2
2 MTPA004881AA
SHAFT
2
3 MTPA004882AA
COLLAR
4
4 N210175520AA
GASKET
2
5 MTNP000433AA 65TSV5-5 L=256
PAPER
1
6 MTNZ000009AA
A
PN-104
TUBE
1
7 N510048808AA
O30
--
( KMTKA000305AA-01 )
12
標準クランパ:SPV
Standard Clamper:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000261AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
-
-
O31
( KMTKA000261AA-03 )