SPV - 第328页
35 真空ポンプ制御 :SPV Vacuum Pump:SPV パーツレイアウト Kit No . キット品番 Kit Name キット名称 N610165524AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O97 ( KN610165524AA-02 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
34
基板吸着配管共通部:SPV
Board Vacuum Piping Common:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000277AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 MTPB001132AA
JOINT
1
2 N510066688AA KQ2L10-99A
JOINT
1
3 N510066844AA KQ2U08-10A
JOINT
1
4 N510066659AA KQ2U08-00A
JOINT
3
5 N510066675AA KQ2L08-99A
JOINT
3
6 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
7 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
8 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
O96
--
( KMTKA000277AA-00 )
35
真空ポンプ制御:SPV
Vacuum Pump:SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610165524AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O97
( KN610165524AA-02 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
35
真空ポンプ制御:SPV
Vacuum Pump:SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610165524AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
MOTOR-CONTROLLER
1
1 MTNM000015AA
S
3G3MX2-AB002-V1
SCREW
1
2XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & Small round-plain wa
O98
--
( KN610165524AA-02 )