3OM-1218-005.pdf - 第242页

041 1-002 6 - 19 2.1 2.1 2.1 2.1 2.1 补正值数据补正值数据补正值数据补正值数据补正值数据 [4] [4] [4] [4] [4] Y Y Y Y Y 轴原点轴原点轴原点轴原点轴原点 [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 为了保持装置组装后的横梁状态 ( 位置 ) 的补正值。执行动态控制器的 Y 轴原点复位 ( 调整模式 ) ，使用从动态控制器自动返回的值。 Fig.3F…

041 1-002 6-18

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

[3][3]

[3]

直角直角

直角

X[X[

° °

]]

]

表示对装置基准坐标系 X 方向的装置上标记的 X 方向角度偏

离量。在装置上确认不易受温度影响的 3 点标记，调整横梁

XY 轴垂直，以求保证实际贴装精度。

Xm-YmXm-Ym

Xm-Ym

装置基准坐标系装置基准坐标系

装置基准坐标系

Xb-YbXb-Yb

Xb-Yb

实际横梁坐标系实际横梁坐标系

实际横梁坐标系

安装头原点安装头原点

安装头原点

基准标记基准标记

基准标记

Pm.Pm.

Pm.

装置基准坐标原点装置基准坐标原点

装置基准坐标原点

基准标记基准标记

基准标记

安装头原点安装头原点

安装头原点

装置基准坐标系装置基准坐标系

装置基准坐标系

直角直角

直角

装置上的标记装置上的标记

装置上的标记

标记坐标系标记坐标系

标记坐标系

横梁坐标系横梁坐标系

横梁坐标系

Fig.3F14Fig.3F14

Fig.3F14

ȸɍȈȋȉ

ȹɍȈȋȉ

ȹɂȈȋȉ

ȸɂȈȋȉ

ȹɂȈȋȉ

ȸɂȈȋȉ

ȸɍȇ

041 1-002 6-19

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

[4][4]

[4]

轴原点轴原点

轴原点

[mm][mm]

[mm]

为了保持装置组装后的横梁状态( 位置) 的补正值。执行动

态控制器的 Y 轴原点复位( 调整模式) ，使用从动态控制器自

动返回的值。

Fig.3F15Fig.3F15

Fig.3F15

(a) 该补正值只显示，不能手动输入。

(b) Y 轴原点补正值说明从从动轴的原点信号位置看向原点复位

方向时，主轴的原点信号位置在哪里。与原点复位方向一

致时为 “+ ”，与原点复位方向相反时为 “- ”。

Note

溢位传感器溢位传感器

溢位传感器

原点标记原点标记

原点标记

((

(

原点信号位置原点信号位置

原点信号位置

))

)

主动侧主动侧

主动侧

从动侧从动侧

从动侧

轴原点补正值轴原点补正值

轴原点补正值

=(+)=(+)

=(+)

值值

值

原点复位方向原点复位方向

原点复位方向

原点标记原点标记

原点标记

((

(

原点信号位置原点信号位置

原点信号位置

))

)

原点复位方向原点复位方向

原点复位方向

轴原点补正值轴原点补正值

轴原点补正值

=(+)=(+)

=(+)

值值

值

原点标记原点标记

原点标记

((

(

原点信号位置原点信号位置

原点信号位置

))

)

横梁横梁

横梁

横梁横梁

横梁

原点标记原点标记

原点标记

((

(

原点信号位置原点信号位置

原点信号位置

))

)

溢位传感器溢位传感器

溢位传感器

6-20

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

0505-003

2.1.52.1.5

2.1.5

安装头补正值安装头补正值

安装头补正值

在 “ 补正值数据 ” 选项卡中，按[ 安装头]Tab，再按[ 安装头 A]

Tab，显示以下选项卡。

Fig.3F16 Fig.3F16

Fig.3F16 “

安装头安装头

安装头

A ”

选项卡选项卡

选项卡

安装头安装头

安装头

、、

、

、、

、

、、

、

、、

、

Y[mm]Y[mm]

Y[mm]

调整安装头升降轴动作引起的旋转中心偏离。