思泰克SPI测试原理介绍.pdf - 第3页
• PMP 相位调制轮廓测量技术原理 结构光栅成像原理 Phase = tan-1 [(I4-I2)/(I 1-I3)]

White Light
Camera
Projection
运用相位调制轮廓测量技术实现对精
密印刷焊锡膏的三维测量,在保证高速测
量的同时,大幅度的提高测量精度。
相 位 调 制 轮 廓 测 量 技 术 (Phase
Measurement Profilometry, 简称PMP),
又 称 为 相 移 轮 廓 术 (Phase Shift
Profilometry,简称PSP) 是一种基于正弦
结构光栅投影,离散相移获取多幅变形光
场图像,再根据多步相移法计算出相位分
布。
结构光栅成像原理
m
mperiodfringeonDependRange
H
imageofDepth
res
37.0
)(tan
)2(360
600
)(tan
)2(360
)___(
8
2
1
1
)__
1
1

• PMP相位调制轮廓测量技术原理
结构光栅成像原理
Phase = tan-1 [(I4-I2)/(I1-I3)]

设备解析度(分辨率):
SPI测试系统通过设备校正软件测试标定
板(图一),可以精确计算出当前设备
的Pixel Size(图二),即设备解析度。
算法说明
图一
图二