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MODEL TPM-1 10F/R-C 021 1-001 32 チャック部 CHUCK SECTION Fig. E-5 基板チャック搬送部 P .C.B. Chuck T ransfer Section ( 奥基準） (Rear Reference) 418 464 429 406 477 407 403 427 404 464 430 410 435 41 1 470 See Fig.E-1 Key No.20 See Fig.E…
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
MODEL TPM-110F/R-C
0509-002
31
401 630 089 2079 SENSOR,PELEC 1 BPH051,B05F, EX-23 748E--310-401
403 630 088 4029 GUIDE,LINEAR 2 748E--310-403
404 630 003 7241 PIPE FITTINGS 4 748E--310-404
405 630 088 4944 HOOK (POSTS L TYPE) 2 748E--310-405
406 630 088 3596 HOOK 2 748E--310-406
407 630 096 7197 SPRING,TENSION 2 BWS8-50 748E--310-407
408 630 088 3626 SENSOR,PHOTO 1 BPH050, PM-R54 748E--310-408
410 630 088 4098 BEARING,RADIAL 8 MF148ZZ 748E--310-410
411 630 116 5325 GEAR 4 748E--310-411
412 630 069 5373 PULLEY,FLAT 2 748E--310-412
413 630 069 5380 PULLEY,FLAT 4 748E--310-413
414 630 088 4012 BELT,FLAT 2 748E--310-414
415 630 081 7515 PIPE FITTINGS 2 748E--310-415
416 630 116 4601 PLATE 1 748E--310-416
417 630 102 5865 PLATE 1 748E--310-417
418 630 116 1440 PLATE(PLATE) 1 748E--310-418
419 630 102 5858 PLATE 1 748E--310-419
420 630 131 8486 GUIDE 4 748E--310-420
421 630 116 4618 PLATE 1 748E--310-421
422 630 090 7872 PLATE 1 748E--310-422
423 630 090 7889 PLATE 1 748E--310-423
425 630 116 1433 BOSS(PIN) 2 748E--310-425
426 630 116 1426 CAP(CAP) 2 748E--310-426
427 630 090 7797 BRACKET 1 748E--310-427
428 630 087 9780 BRACKET 1 748E--310-428
429 630 087 9797 PLATE 1 748E--310-429
430 630 087 9803 PLATE 1 748E--310-430
431 630 087 9810 PLATE 1 748E--310-431
432 630 087 9834 PULLEY 4 748E--310-432
433 630 087 9896 COVER 1 748E--310-433
434 630 087 9926 BRACKET 1 748E--310-434
435 630 087 9933 COLLAR 4 748E--310-435
436 630 114 3248 COVER 1 748E--310-436
461 411 041 8908 SCR PAN 3X6 2 748E--310-461
462 411 040 7803 SCR PAN 3X12 4 748E--310-462
463 411 147 6808 SCR TRS 3X5 4 748E--310-463
464 630 000 8500 BOLT,HEX-SCT 16 748E--310-464
465 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 8 748E--310-465
466 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 2 748E--310-466
467 630 000 7572 BOLT,HEX-SCT 1 748E--310-467
468 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 748E--310-468
469 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 748E--310-469
470 630 008 2296 SET SCREW 8 748E--310-470
471 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 24 748E--310-471
472 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 748E--310-472
473 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 748E--310-473
474 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 8 748E--310-474
475 411 118 8503 NUT HEX 5 2 748E--310-475
477 411 140 9905 NUT HEX 3 4 748E--310-477
478 411 002 2600 SCR FLT 3X6 4 748E--310-478
E-5
MODEL TPM-110F/R-C
0211-001
32
チャック部
CHUCK SECTION
Fig. E-5
基板チャック搬送部
P.C.B. Chuck Transfer Section
( 奥基準）
(Rear Reference)
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See Fig.E-1
Key No.20
See Fig.E-
3
Key No.22
3
See Fig.E-
3
Key No.222
See Fig.E-1
Key No.14
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Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
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MODEL TPM-110F/R-C
0509-002
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401 630 089 2079 SENSOR,PELEC 1 BPH051,B05F, EX-23 748E--310-401
403 630 088 4029 GUIDE,LINEAR 2 748E--310-403
404 630 003 7241 PIPE FITTINGS 4 748E--310-404
405 630 088 4944 HOOK (POSTS L TYPE) 2 748E--310-405
406 630 088 3596 HOOK 2 748E--310-406
407 630 096 7197 SPRING,TENSION 2 BWS8-50 748E--310-407
408 630 088 3626 SENSOR,PHOTO 1 BPH050, PM-R54 748E--310-408
410 630 088 4098 BEARING,RADIAL 8 MF148ZZ 748E--310-410
411 630 116 5325 GEAR 4 748E--310-411
412 630 069 5373 PULLEY,FLAT 2 748E--310-412
413 630 069 5380 PULLEY,FLAT 4 748E--310-413
414 630 088 4012 BELT,FLAT 2 748E--310-414
415 630 081 7515 PIPE FITTINGS 2 748E--310-415
416 630 116 4601 PLATE 1 748E--310-416
417 630 102 5865 PLATE 1 748E--310-417
418 630 116 1440 PLATE(PLATE) 1 748E--310-418
419 630 102 5858 PLATE 1 748E--310-419
420 630 131 8486 GUIDE 4 748E--310-420
421 630 116 4618 PLATE 1 748E--310-421
422 630 090 7872 PLATE 1 748E--310-422
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427 630 090 7797 BRACKET 1 748E--310-427
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431 630 087 9810 PLATE 1 748E--310-431
432 630 087 9834 PULLEY 4 748E--310-432
433 630 087 9896 COVER 1 748E--310-433
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435 630 087 9933 COLLAR 4 748E--310-435
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461 411 041 8908 SCR PAN 3X6 2 748E--310-461
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468 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 748E--310-468
469 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 748E--310-469
470 630 008 2296 SET SCREW 8 748E--310-470
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473 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 748E--310-473
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