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6.5.1.M3S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION 6.5.1. M3S- 基板 停止位置 補正 機能 No. Drg.No.&CodeNo. Q TY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 &コード 番号 個数 品名 規格 材質 備考 1 AA2MZ02 1 PLATE プレー ト OT 2 PZ21051 1 SHE…

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6.5.1.M3S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION
6.5.1.M3S-基板停止位置補正機能
No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番&コード番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA2MZ02 1 PLATE プレー OT
2 PZ21051 1 SHEET シート OT
3 PB49701 1 PLATE プレー FE
4 PZ21041 3 MAGNET マグネット OT
5 AA2NS02 1 PLATE プレー OT
6 PZ21380 1 SHEET シート OT
7 PB50091 1 BKT BKT FE
8 H5275A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角 M03X008 FE
9 W1021A 2 WASHER,LOCK ワッシャスプリング 3M/M FE
10 W1040A 2 WASHER,FLAT ワッシャ平 3M/MX0.5X7 FE
11 AA2SG00 1 PLATE レート OT
12 PZ21380 1 SHEET ート OT
13 PB51660 1 BKT KT FE
14 H5275A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角 M03X008 FE
15 W1021A 2 WASHER,LOCK ワッシャスプリング 3M/M FE
16 W1040A 2 WASHER,FLAT ワッシ 3M/MX0.5X7 FE
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