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Test Research Inc. 22 TR 7007 User Guide -- So ftware 面積直方圖 示意圖 圖 30 體積： X 軸代表百分比， Y 軸代表該百分比的累計數量，圖中顯示平均值與兩 倍標準差的範圍。 體積直方圖 示意圖 圖 31 偏移：可看出整體 X/Y 偏移量的分佈情形與趨勢。
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當前選取檢測框的檢測資訊示意圖 圖28
使用資訊欄下方的工具列，亦可切換欲顯示的直方圖或偏移圖。
高度：X軸代表百分比，Y 軸代表該百分比的累計數量，圖中顯示平均值與兩
倍標準差的範圍。
高度直方圖示意圖 圖29
面積：X軸代表百分比，Y 軸代表該百分比的累計數量，圖中顯示平均值與兩
倍標準差的範圍。
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面積直方圖示意圖 圖30
體積：X軸代表百分比，Y 軸代表該百分比的累計數量，圖中顯示平均值與兩
倍標準差的範圍。
體積直方圖示意圖 圖31
偏移：可看出整體 X/Y 偏移量的分佈情形與趨勢。
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偏移量示意圖 圖32
2.1.9.4 檢測鈕與覆判鈕
使用者可以點擊檢測/跳離按鈕執行檢測或取消當前檢測動作。
執行檢測或跳離的介面示意圖 圖33
每次檢測過後，若模式設定下選擇【不良品等待確認】則介面上會出現覆判鈕。使用
者需針對當前機台檢測出缺點的受測板進行覆判。
不良：機台檢出有缺點，經使用者覆判為不良品。
合格：機台檢出有缺點，經使用者覆判為良品。
停止：使用者要進行檢測資料編輯時，則選擇此項目。
覆判鈕介面示意圖 圖34
2.1.10 當前 10 板統計圖
顯示 10 片內受測板體積、面積、高度、偏移量於不同的量測參數下的統計長條圖，
亦能顯示檢測結果與刮刀方向，以利使用者進行製程上的問題分析。