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SIPLACE Wafer System
Ausgabe 08/2011 DE
Instandhaltungsanleitung
Alle mit dem Schutzrechtsvermerk ® gekennzeichneten Bezeichnungen sind eingetragene Marken der ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG.
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Artikel-Nr.: 00195962-02
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Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
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Inhalt
1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7
1.1 Lage von Schaltern und Tastern am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3 Generelle Sicherheitshinweise bei Instandhaltungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2 Alles für die Instandhaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11
2.1 Werkzeuge und Arbeitsmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2 Verbrauchsstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3 Verschleißteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4 Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.1 Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.2 Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.4.3 Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.3.1 Schutzhauben am Bestücker öffnen und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.3.2 Magazin-Lift aufschwenken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.3.3 Magazin-Lift schließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.3.4 Versorgungseinheit herausziehen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.3.5 Versorgungseinheit einschieben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.4.4 Multipette verwenden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.4.4.1 Multipette zusammenbauen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.4.4.2 Multipette füllen und einstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.5 Baugruppenübersicht des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20
2.6 Instandhaltungsplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
2.6.1 Instandhaltungsplan nach Intervallen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
2.7 Allgemeine Instandhaltungsarbeiten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .26
2.7.1 Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler absaugen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
2.7.2 Manometer für den Abblasdruck von Die-Attach-Unit und Flip-Unit prüfen . . . . . . 27
2.7.3 Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.7.4 Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen . 28