KE-2050_2060故障检修.pdf - 第44页

故障检修 錯誤消息集 3-25 E52 1 080 激光错误 :(LEFT_BLOCKED) 左窗口被赌塞错误。 E52 1 08 1 激光错误 :(RIGHT_BLOCKED) 右窗口被赌塞错误。 E52 1 082 激光错误 :(BOTH_BLOCKED) 左右窗口都被赌塞错误。 E52 1 083 激光错误 :(BAD_CHKSUM) 固件从传感器 EEPROM 读取数据中发现错误。 E52 1 084 激光错误 :(DUP_ST…

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故障检修 錯誤消息集
3-24
W513403 MTC 未结束原点返回。
W513404 MTC 处于脱机状态。
W513405 MTC 机箱门被打开。
W513406 MTC 机盖被打开。
W513407 MTC 处于错误状态。
W513408 MTC 处于交换元件状态。
Q513601 是否废弃 MTC 元件?
I513801 滑梭上有元件。请取下元件。
I513802 因保护元件暂停。请取下元件。
I513803 不能归还 BGA 元件。请取下元件。
E514001 MTS 运转异常。
E514002 MTS 抽出异样元件。
W514401 MTC 电源被关闭。
W514402 MTS 被紧急停止。
W514403 MTS 未结束原点返回。
W514404 MTS 处于关闭状态。
W514405 MTS 机箱门被打开。
W514406 MTS 无堆叠箱。
W514407 MTS 处于出错状态。
W514408 MTS 处于交换元件状态。
Q514601 是否废弃 MTS 元件?
I514802 为保护元件暂停。请取下元件。
E515001 DTS 运转异常。
E515002 DTS 抽出不同元件。
W515401 DTS 未结束原点返回。
W515402 DTS 机盖被打开。
W515403 DTS 处于出错状态。
W515404 DTS 处于交换元件状态。
_520000
_520000_520000
_520000
E520000 不能吸取 MTC 上的元件。
E520001 MTC 上的元件与指定元件不一致。
E520002 MTC 归还元件时,MTC 发生错误。
E520003 MTC 滑梭归还元件时,滑梭真空出错。
E520012 MTC 滑梭归还元件时,发生 Head 附着元件返回的错误。
E521005 激光错误:(LNK_FAIL) 传感器与 MCM 之间通讯发生错误。
E521007 激光错误:(NO_ALG) 被要求错误测量方法。
E521008 激光错误:(NO_START) 没有连接传感器,或硬件出错。
E521010 激光错误:(BAD_SENSOR) MCM 不能检索正确的传感器数据。
E521012 激光错误:(BAD_EE_VERSION) 固件不能识别 EEPROM 版本。
E521013 激光错误:(BAD_EE_DATA) 从传感器 EEPROM 读取校准数据发生错误。
E521014 激光错误:(BAD_EE_SYNC) 从传感器 EEPROM 读取校准数据发生错误。
E521015 激光错误:(POWER_LOW) MCM 发现电压下降,导致传感器不能正常运作。
E521017 激光错误:(OVER_CURR) MCM 发现电压下降,导致传感器不能正常运作。
E521060 激光错误:(SHORT_BUF) 激光数据用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521061 激光错误:(LONG_BUF) 激光数据用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521062 激光错误:(SHORT_CMD) 激光命令用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521063 激光错误:(LONG_CMD) 激光命令用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521064 激光错误:(NO_PART) 测量中检测不到阴影
E521065 激光错误:(TOOL_SLOW) MCM 处理器不能跟上测量速度。
E521067 激光错误:(ABORTED) MCM 被接受强行停止测量命令。
E521070 激光错误:(ALG_ERR) 固件发现了不应该发生的状况。
E521075 激光错误:(PRV_ERR) 检查端点(Peak)中发现前一次的端点检查错误。
E521077 激光错误:(WIDE_ERR) 检查元件间距中,发现元件间距不够长。
E521078 激光错误:(SMALL_WIN) 被指定小于 2000 Micron 的窗口。
E521079 激光错误:(WIN_BLOCKED) 窗口被赌塞错误。
故障检修 錯誤消息集
3-25
E521080 激光错误:(LEFT_BLOCKED) 左窗口被赌塞错误。
E521081 激光错误:(RIGHT_BLOCKED) 右窗口被赌塞错误。
E521082 激光错误:(BOTH_BLOCKED) 左右窗口都被赌塞错误。
E521083 激光错误:(BAD_CHKSUM) 固件从传感器 EEPROM 读取数据中发现错误。
E521084 激光错误:(DUP_START) 固件从传感器 EEPROM 读取数据中发现错误。
E521085 激光错误:(NO_EEPROM_SOD) 固件从传感器 EEPROM 读取数据中发现错误。
E521086 激光错误:(BAD_PARM) 命令中发现无效的参数。
E521087 激光错误:(BAD_DATA) 发现无效数据。
E521090 激光错误:(TOO_FEW_FRAMES) 角度计算出错。
E521091 激光错误:(MIN_OUT_RANGE1) 角度计算出错。
E521092 激光错误:(MIN_OUT_RANGE2) 角度计算出错。
E521093 激光错误:(MIN_TOO_HIGH) 因元件太小,不能确定决定元件宽度的角度。
E521094 激光错误:(NO_CUTOFF1) 角度计算出错。
E521095 激光错误:(NO_CUTOFF2) 角度计算出错。
E521096 激光错误:(CONST_ANGLE) 角度计算出错。
E521098 激光错误:(SCAN_LIMIT) 在界限角度内不能查出决定最小宽度的角度。
E521099 激光错误:(OVERRUN) 发现超出限度的错误。
E521100 激光错误:(UNITS_NOT_SET) 未初始化状态下,被接受命令错误。
E521102 激光错误:(INVALID_ALG) 测量 Algorithm 无效。
E521103 激光错误:(LOW_BACKGROUND) 检查图像时发现激光强度过低错误。
E521104 激光错误:(BAD_IMAGE_REGION) 图像检查中,发现区域分界线不明确错误。
E521105 激光错误:(IMG_CHK_FAIL) 检查图像失败。
E521106 激光错误:(ERR_LEVEL_TOO_LOW) 发现定义外的错误。
E521201 激光错误:通讯错误
E521203 激光错误:命令/响应错误
E521204 激光错误:检查合计错误
E521205 激光错误:读取参数错误
E521206 激光错误:数据错误
E521211 激光错误:文件错误
E522000 元件数据的激光运算错误
E522001 建立激光窗口参数错误,请检查元件数据。
轴驱动
轴驱动轴驱动
轴驱动
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_600000
_600000_600000
_600000
E600001 轴驱动内部发生错误。
E600002 未知的机种。
E600003 系统配置构造出错。
E600004 系统控制器初始化失败。
E600005 系统对象初始化失败。
E600006 定序器初始化失败。
E600007 监测出 SynqNet 的断路。 有可能马达控制器损坏。
E600008 XMP 异常。 有可能马达控制器损坏。
E600009 初始化错误。 界限失常, 初始化失败。
E600010 参数错误。
E600011 无效单元。
E600012 返回原点失败。
E600013 伺服电源被关闭状态。
E600014 驱动警报。
E600015 伺服 Amp 失效。
E600016 Z 轴下降,不能运转。
E600017 因传送带浮动,不能运转。
E600018 因基板检查传感器干扰,不能运转。
故障检修 錯誤消息集
3-26
E600020 设置增值参数失败。
E600021 设置激光译码器失败。
E600024 连接 Synqnet 失败。
E600030 XMP 错误。
E600031 轴状态错误。
E600032 轴运转的起动失败。
E600033 轴运转的停止失败。
E600036 速度误差超过界限。(可能电压不足,请检查电压。)
E600040 超出移动范围。
E601001 伺服电源的打开失败。
E601010 起动 AMP 失败。(XY)
E601012 起动 AMP 失败。(ZT1)
E601013 起动 AMP 失败。(ZT2)
E601014 起动 AMP 失败。(ZT3)
E601015 起动 AMP 失败。(ZT4)
E601020 中断 AMP 失败。(XY)
E601022 中断 AMP 失败。(ZT1)
E601023 中断 AMP 失败。(ZT2)
E601024 中断 AMP 失败。(ZT3)
E601025 中断 AMP 失败。(ZT4)
E601030 排除警报失败。(XY)
E601032 排除警报失败。(ZT1)
E601033 排除警报失败。(ZT2)
E601034 排除警报失败。(ZT3)
E601035 排除警报失败。(ZT4)
E601040 识别校准块标记失败。(L-OCC)
E601041 识别校准块标记失败。(R-OCC)
E601042 尚未完成返回原点。
E601043 伺服处于未使用状态。
E602110 X 轴参数错误。
E602112 Y 轴回原点失败。
E602113 X 轴错误。伺服电源被关闭状态。
E602114 X 轴错误。驱动警报。
E602115 X 轴错误。Amp 被中断。
E602116 X 轴错误。因 Z 轴下降,不能运转。
E602117 X 轴不能移动。发现传送带浮动。
E602120 X 轴错误:设置增值参数失败。
E602122 X 轴错误:原点传感器失效。
E602130 X 轴错误: XMP 错误。
E602131 X轴错误: 状态错误。
E602132 X 轴错误: 起动失败。
E602133 X 轴错误: 停止失败。
E602136 X 轴错误: 速度误差超过界限。(可能电压不足,请检查电压。)
E602137 X 轴错误: 马达编码器异常。(可能马达损坏。)
E602138 X 轴错误: 位置偏移量超过界限。
E602139 X 轴错误: Amp 故障。
E602140 X 轴错误: 超过移动范围。
E602210 Y 轴参数错误。
E602212 Y 轴回原点失败。
E602213 Y 轴错误。伺服电源被关闭状态。
E602214 Y 轴错误。驱动警报。
E602215 Y 轴错误。Amp 被中断。
E602216 Y 轴错误。因 Z 轴下降,不能运转。
E602217 Y 轴不能移动。发现传送带浮动。