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D3 9 维护段位器光栅盘 2008 年 8 月中文版 8.1 维护双贴片头 87 ⑤ 在孔内顺时针转动 1.4 mm 钻头，清除纵向真空 孔内的污物。 转动钻头，清除孔内的污物。 ⑤ 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。 9 请戴上实验室手套完成这一步骤 。 9 9 9 ③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。 如果损坏，则更换。 ③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 …