573170_ Micron Maintenance Manual DE.pdf - 第78页
2 REINIGUNG, SCHMIERUNG UND WARTUNG: DIAGRAMME 2.18 Externer Reinigungsmitteltank 78 WARTUNGSHANDBUCH MICRON 11/2017 2.18 EXTERNER REINIGUNGSMITTELTANK 1 2 3 Abb.18: Ansicht externer Reinigungsmitteltank Posten Beschrei…
2 REINIGUNG, SCHMIERUNG UND WARTUNG: DIAGRAMME
2.17 unter der Schablone reinigen
WARTUNGSHANDBUCH MICRON 11/2017 77
2.17 UNTER DER SCHABLONE REINIGEN
1
2
3
4
Abb.17: Ansicht linke Seite der USC
Pos-
ten
Beschreibung Pos-
ten
Beschreibung
1 USC-Magnet (in 2 Positionen) 3 USC Linearlagerblock (in 2 Positionen)
2 USC Sensor in Ausgangsposition 4 Kamera Y Linearlager-Führungsschiene (in 2
Positionen)
2 REINIGUNG, SCHMIERUNG UND WARTUNG: DIAGRAMME
2.18 Externer Reinigungsmitteltank
78 WARTUNGSHANDBUCH MICRON 11/2017
2.18 EXTERNER REINIGUNGSMITTELTANK
1
2
3
Abb.18: Ansicht externer Reinigungsmitteltank
Posten Beschreibung Posten Beschreibung
1 Reinigungsmittelbehälter 3 Externer Reinigungsmitteltank
2 Gehäuse des Reinigungsmittelbehäl-
ters
3 VAKUUM-FILTRATIONSEINHEITEN
3.1 ERSETZEN DES FILTERS
WARTUNGSHANDBUCH MICRON 11/2017 79
3
VAKUUM-FILTRATIONSEINHEITEN
3.1 ERSETZEN DES FILTERS
Es wird empfohlen, die Filter der Vakuum-Filtrationseinheiten jährlich zu wechseln. Die entspre-
chende Teilenummer entnehmen Sie der untenstehenden Tabelle.
HINWEIS
Wenn Sie die Filter nicht ersetzen oder keine Standardteile benutzen, kann dies einen ernsthaften
Einfluss auf die wirkungsvolle Reinigung der Schablone haben.
3.1.1 Vakuumfilter
Beschreibung Teilenummer
VF35i Kohlenstoff-Filter 173357
VF35i Standardmäßiger Vorfilter 173358
VF35i HEPA Vorfilter (Reinraum-Nutzung) 173359
VF35i Filter-Satz (1x 173357 and 1x 173358) 173373
VF35i Filter-Satz (1x 173357 and 1x 173359) 173374
.
VF30 Kohlenstoff-Filter 225093
.
VF25 Kohlenstoff-Filter 163552
VF25 Standardmäßiger Vorfilter 163551
VF25 Filter-Satz (1x 163552 and 1x 163551) 173102
.
VF10 HDPE Schaumfilter (Dreierpack) 187871