KE-1070_80_Operation_Manual2_Rev01_C2.pdf - 第339页
操作手册Ⅱ 5-6 (2)管道系统图(贴片头) Blow-Sw P φ8 Vac-Sw エジェクタ フィルタ 圧力センサ ノズル (3)管道系统图(统一更换台，4处通用) φ6 P ローラレバー ローラレバー セレクタ パイロットチェック弁 φ6 φ6 φ6 φ6 φ6 φ φ φ φ φ φ φ
操作手册Ⅱ
5-5
(1) 管道系统图(主机)
Cell block
A
B
P
R
A
B
A
B
ATC
)
θ12
CVS
φ6 ST=30
AE/E
AE/E
θ6
θ6
θ6
θ8
θ6
θ6
θ6
θ4
θ4
θ4
θ4
θ4
θ4
θ4
θ4
操作手册Ⅱ
5-6
(2)管道系统图(贴片头)
Blow-Sw
P
φ8
Vac-Sw
エジェクタ
フィルタ
圧力センサ
ノズル
(3)管道系统图(统一更换台，4处通用)
φ6
P
ローラレバー
ローラレバー
セレクタ
パイロットチェック弁
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
φ
φ
φ
φ
φ
φ
φ
操作手册Ⅱ
5-7
1) 请目检确认贴片头单元正面部过滤器箱内的空气过滤器
没有脏污。
✎检查过滤器脏污的方法✎
在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」，再执行
「设置组」→「真空校准」。（参见「11-2-5 真空校准」）
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
2) 有脏污时，请更换新过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」拧松，取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」，差到底，用「固定螺丝②」固定好。
此时，请确认
「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
检查项目
5-2-5 空气过滤器（LNC60、IC头共通）
实施频度 ：每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换新的空气过滤器 使用工具 ：六角扳手 更换标准： 6 个月
③
④
②
⑤
①