SP60P-L Parts list(Mechanical)20120628.pdf - 第103页

Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-E マスククリーニングユニット(L) Mask Cleaning Unit(L) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX03BUA00 Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 HOUSING 1 1…

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11-E
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M83
( KKXFX03BUA00-15-5 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-E
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
HOUSING
1
1 KXFB038CA00
MANIFOLD
1
2 N210002141AA
BRACKET
1
3 N210019803AA
BRACKET
1
4 KXFB024JA00
BRACKET
1
5 N210059540AA
BRACKET
1
6 KXFB00LRA00
PW004A0
2
7 KXFB01CCA00
PUMP
1
8 N510048045AA PB1013-01-X31
JOINT
2
9 KXF02BPAA00 KQL04-01S
TANK
1
10 N610010652AA
C-RING
1
11 KXF07ZFAA00 STW-32
TUBE
1
12 KXF0DWU4A00 PN-4-10X6.5 milk-white
FILTER
1
13 N510001105AA UY3/8(mesh40)
BUSH
1
14 KXF0DXZNA00 No.386 M-3/8X1/8 SUS
VALVE
1
15 KXF0E0KWA00 USG3-X0891(DDA)
SILENCER
1
16 N510064382AA AN10-01
NIPPLE
2
17 N510019610AA No.507 21X3/4 SUS
HOSE
1
18 KXF0DWU6A00 Duct EE-type D50
HOSE-BAND
2
19 KXF05QVAA00 ABA band 19-28
FILTER
1
20 N510024186AA
A
VFY036A
VALVE
2
21 N510056193AA ADK11-25X3483
NIPPLE
2
22 N510020198AA V6N-10
JOINT
1
23 N510020199AA VT-10
NIPPLE
2
24 N510020200AA VRN-1008
JOINT
3
25 KXF05HJAA00 KQH08-02S
PLUG
3
26 KXF02CSAA00 KQP-08
TUBE
1
27 KXF0DX38A00 Chemi-flex inner diameter D19
NIPPLE
1
28 KXF0DXJCA00 No.404 1 1/4X34
HOSE
1
29 N510005275AA TAC Eco Duct D32
BAND
2
30 KXF0DZHTA00 VE36
BAND
2
31 KXF0DWUAA00 VE54
JOINT
3
32 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
33 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
SENSOR
1
34 KXF078BAA00 GT7SN
PLATE
2
35 KXF05EMAA00 GP5-1
BUSH
1
36 N510020201AA (Bu)1X3/4
BUSH
1
37 N510020202AA VBU-1610
NIPPLE
1
38 N510020203AA VRN-1608
JOINT
1
39 N510020204AA (SL)3/4
FILTER
1
40 N510024187AA
A
VFY036A-E
SOCKET
3
41 KXF0DX37A01 SOCKET 11/4(DA KXF0DX37A01)
BAND
3
42 N510019612AA AS-60
Process Pump Kit
1
43 N610113239AA
JOINT
1
44 KXF02BPAA00 KQL04-01S
JOINT
2
45 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
M84
--
( KKXFX03BUA00-15-5 )
12
基
板
上押えユニット(L)
Board Flattening Unit(L)
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BVA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M85
( KKXFX03BVA00-04 )