多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第2页
INS-NXTMWU-4.2S ࡳ㛑ऩܗ Փ⫼䇈ᯢк
手册更新概要
对下记手册进行了更新。
手册名称 : 多功能晶圆单元使用说明书
更新后的手册管理号码 : INS-NXTMWU-4.2S
更新前的手册管理号码 : INS-NXTMWU-4.1S
发行日期 : 2012.1.31
所进行的主要更新内容如下表所示：
注意 :
如果您需要完整的印刷手册，请与您的代理商联络或者发送电子邮件到以下地址。
E-mail: intnetqst@fuji.co.jp
章/节
变更内容
10.6.1 每月 （700 小时）的作业 将 [10.6.1 往复臂皮带的清扫 ] 变更为 [ 往复
臂皮带的清扫和加油 ]。
10.10.1 驱动部的加油 将对托架往复臂的加油周期变更为每月。
对于手册各部分中的细微变动恕不详述。
INS-NXTMWU-4.2S
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