NPM-D3A_规格说明书_Ver.2024.0612.pdf.pdf - 第188页
NPM- D3 A 20 24. 0612 - 182 - ( 单位 : mm) ■ C-Cart 连接时 Remarks • 上述示图的缩小比例与 实际机器在严 格上讲，并不完全 一致。 在研讨生产线构成和尺 寸时，请另行 索取资料。 • 本机下部如有设置通风 道等时，请确 保与主体间空隙 保持 40 mm 以上。 交换台车规格 托盘供 料器 规格 前 侧 AIR 电源 基板传送基准 ( 前侧轨道 ) 基板传送基准 ( 后…
NPM-D3A 2024.0612
- 181 -
(
单位
: mm)
■
托盘供料器连接时(含堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要
400 mm
的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多
1 600mm
的空间。
400
1814
3556
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- 182 -
(
单位
: mm)
■
C-Cart
连接时
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
交换台车规格
托盘供料器规格
前 侧
AIR
电源
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
2 594 (2 571: C-Cart 连接时)
托盘供料器或
C-Cart34C
(1 023: C-Cart 连接时)
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■
调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
223
AIR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5
673.5
2 575
421
1 290
444
420
660
820
80
80
139
前 侧