KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第49页
操作手册 4-8 1 ) 请目视检查 确认 H ead 单元正面部过 滤器箱内的 「空气 过滤器 ①」没有脏污。 2 )请确认真空校准没 有问题。 真空校准 「使用 说明书 11 -2-6 真空校准 」 在主画面 上选择「维 护」 → 「机器自 动校准」 ,再执行 「设置组 」 → 「真空 校准」 。 执行结果若 有问题,会显示 提示,敦促更 换。 3) 有脏污时,请更 换新过滤 器。 1) 把过滤器箱的「 固定螺丝②」 (前后 4 处…

操作手册
4-7
1) 请确认没有漏气
1)主机接通电源后,请选择「手动控制」项目,检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制
「使用说明书 第 9 章 手动控制」
在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。
2)如果动作有问题,请参考『使用说明书 3-9 章 管道系统图』进行检查。
检查项目
4-2-3
管道及接头
实施频度 :每周
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查项目
4-2-4 各单元气缸
实施频度 :每周
检查内容
检查各气缸的动作
检查漏气
<左侧深处>
指状阀
在功能栏上选择[手动控制]
即启动。

操作手册
4-8
1) 请目视检查确认 Head 单元正面部过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2)请确认真空校准没有问题。
真空校准
「使用说明书 11-2-6 真空校准」
在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」,再执行
「设置组」→「真空校准」。
执行结果若有问题,会显示提示,敦促更换。
3) 有脏污时,请更换新过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」(前后 4 处)拧松,取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污,请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」,要插到底,用「固定螺丝②」固定好。
(紧固力矩:0.7 N·m)
此时,请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
4-2-5
空气过滤器(
LNC60 Head
)
实施频度 :每月
检查内容
检查空气过滤器脏污
更换
更换新的空气过滤器
更换标准:
6
个月
使用工具
:螺丝刀
①
②
③
④
⑤
①
「使用说明书 8-4-2 无吸嘴状态下真空
值」
从主画面实施「机器设置」→「无吸嘴状
态下的真空值」
无吸嘴状态下真空值
过滤器③ 货号:40046646

操作手册
4-9
1) 请检查传送带有无明显的磨损、破损、松弛。
2) 有磨损、破损等时,请更换新的传送带。
1) 把安装在 A 部位长孔中的「调整传送带松紧用的滑轮」松开。
2)请从传送滑轮上拆下传送带,更换以下货号的传送带。
基板尺寸
CENTER
IN・OUT
标准
选项
传送延长 150 传送延长 250
L-wide
M 40113952 40113953 40114731 40114732 -
L 40001070 40071333 40011058 40011065 40011058
3)请调整传送带的张力。
① 在传送带松弛时(传送带没有张力),用“油性笔等”在传送带上平坦部分间距200mm「B」处,做
2处标记。
② 按照与1)逆向步骤,转动「A部」的「传送滑轮」,撑紧传送带张力,在2处标记的间距达到201mm
的位置上,拧紧传送滑轮。
请注意站点部分,不要因传送带张力加大而使传送轨上不来。
③ 安装完毕后,执行「手动控制」数分钟,检查有无异常声音、脱落等问题。
④ 1周以后再检查1次张力。
A
B
200mm
201mm
搬送ベルト
检查项目
4-2-6 传送带
实施频度 :每周
检查内容
检查传送带的磨损、破损、松弛
更换
更换传送带
更换标准
:
1
年
使用工具:螺丝刀、扳钳
传送带
A
A
A