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H04/H04S-NEXTA-NOZZLE STATION H04/H04S-NEXTA-ノズルステーション UL04202 No. Dr g .No. & Code No. QTY Descri p tion Ratin g Materials Remarks 番号 図番 & コード番号 個数 品名 規 格材 質 備 考 1 AA5GA03 1 HOLDER ホルダ OT 2 PS00992 2 SHEET シート …

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PTS-NXT2-06JE Vol.1
H04/H04S-NEXTA-NOZZLE STATION
H04/H04S-NEXTA-ノズルステーション
UL04202
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名
格材
1 AA5GA03 1 HOLDER ホルダ OT
2 PS00992 2 SHEET シート OT 12
p
ieces
/
sheet, Consumable Parts
3 PX07211 1 SEAL, BAR CODE シール バーコード OT unit serial number
4 PX07201 1 SEAL, BAR CODE シール バーコード OT unit serial number
5 AA5FY02 1 GUIDE ガイド OT
6 H5289A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M04X012 FE
7 W1011A 2 WASHER, CONICAL ワッシャ M- 4-L FE
8 AA96706 1 BLOCK
ロック OT
9 H5276A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X010 FE
10 W1010A 2 WASHER, CONICAL ワッシャ M- 3-L FE
11 PZ29951 9 BOLT ボル OT
12 PM85634 9 WASHER ワッシャ FE
13 PB85060 1 SHUTTER シャッタ FE
15 PZ05022 1 SPRING, TENSION
リン
FE
16 PM03YR3 1 HOLDER ホル AL
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