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Assembly Instructions 9DNXXPSXPSH Montageanleitung Ausgabe /20 0 Edition 9DFXXP3XPS S IPLACE ''
Assembly Instructions
9DNXXPSXPSH
Montageanleitung
Ausgabe /200 Edition
9DFXXP3XPS
SIPLACE ''
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Montageanleitung Vakuumpumpe / Assembly instructions vacuum pump D1 / D2
Ausgabe 11/2006 Edition
3
Inhalt / Contents 0
Seite / Page
1 Montageanleitung Vakuumpumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1 Sicherheitshinweise Vakuumpumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.1 Definitionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3 Benötigte Teile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4 Benötigte Werkzeuge und Verbrauchsmaterial . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5 Umbau Druckluftversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.6 Änderungen am Bestückkopf. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.7 Umbau Verschlauchung für Twinhead . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.8 Technische Informationen zur Umrüstung auf Vakuumpumpenbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.9 Abschließende Arbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.9.1 Bedingungen für den Einschaltvorgang. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.9.2 Überprüfung des Vakuumsystems auf Dichtheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.9.2.1 Messung mit SITEST
(Überprüfung am Beispiel eines 6er-Bestückkopfes). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.9.2.2 Messen Sie das Vakuum mit einem externen Druckmessgerät: . . . . . . . . . . . . . . 22
1.9.2.3 Überprüfung des Haltekreis-Vakuumsystems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.9.2.4 Vakuumkennlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2 Assembly instructions for vacuum pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.1 Safety instructions vacuum pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.2 Safety instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.2.1 Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28