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- 10 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 401-08097 CAL_BLOCK_ASS Y ＣＡＬ ブロック組 1 2 400-46846 CAL_BASE ＣＡＬ ベース (1) 3 SL-6062092 -TN SCREW M6 L=20 座金付き六角穴ボルト (2) 4 L202E-421-00 0 CAL PL ATE ＣＡＬ プレート (1) 5 4…
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5. CAL BLOCK COMPONENTS
ＣＡＬ ブロック関係
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1
- 10 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-08097 CAL_BLOCK_ASSY
ＣＡＬ ブロック組
1
2 400-46846 CAL_BASE
ＣＡＬ ベース
(1)
3 SL-6062092-TN SCREW M6 L=20
座金付き六角穴ボルト
(2)
4 L202E-421-000 CAL PLATE
ＣＡＬ プレート
(1)
5 400-45995 CAL PIECE BASE
ＣＡＬ ピースベース
(1)
6 400-45996 CAL PIECE RING
ＣＡＬ ピースリング
(1)
7 SM-6031602-TN SCREW M3 L=16
六角穴ボルト
(4)
8 SM-1051452-TN PLATE SCREW
皿ねじ Ｍ ５ Ｌ ＝１４
(2)
9 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
10 L202E-521-000 CAL SIDE COVER
ＣＡＬ サイドカバー
(1)
11 SM-6030602-TN HEX SCREW M3 X 6
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
12 L202E-621-000 CAL DIFFUSER
ＣＡＬ ディフューザ
(1)
13 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(2)
14 400-07376 CALBLOCK PCB ASM
ＣＡＬ ブロック基板組
(1)
15 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
16 400-45979 NOZZLE CAL PIECE
ノズル ＣＡＬ ピース
(1)
17 NM-6050001-SC NUT M5
六角ナット Ｍ ５ Ｘ ０．８ １種
(1)
18 L203E-021-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER
ノズル ＣＡＬ ピースアザー
(1)
19 L203E-121-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER SP
ノズル ＣＡＬ ピーススプリング
(1)
20 PJ-0105050-01 JOINT
延長継ぎ手
(1)
21 400-46845 CAL_PIECE_STAY
ＣＡＬ ピースステイ
(1)
22 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
23 SM-4030401-SC SCREW M3X0.5 L=4
なべ小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝４
(4)
24 401-07834 CAL_VAC_BRACKET
ＣＡＬ ＶＡＣ ブラケット
(1)
25 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
26 400-02125 CAL VCUM SV ASM
ＣＡＬ ＶＣＵＭ ＳＶ 組
(1)
27 PJ-3040405-04 ELBOW UNION
エルボユニオン
(1)
28 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
29 E3805-721-000 OCC SHIM B
ＯＣＣ シム Ｂ
(1)
30 E3806-721-000 OCC SHIM C
ＯＣＣ シム Ｃ
(1)
31 E2063-760-000 SHIM C
シム Ｃ
(1)
32 400-02126 CAL VACUUM SENSOR ASSY
ＣＡＬ バキュームセンサ組
(1)
- 11 -
6. ATC COMPONENTS
ＡＴＣ 関係
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