FX3_Installation_Guide_Rev1.0_C.pdf - 第10页
Rev1.00 安装要领书 6 4. 基板传送高度和水平的调整 4-1. 水平调整 < 规格 > 前后方向： 水平仪刻度（ 0. 05mm/div ）± 1 刻度 左右方向： 水平仪刻度（ 0. 05mm/div ）± 2 刻度 传送高度： 日本国内 H = 900 mm 至于海外，由于与国内的高度标准不一样，所以请满足客户的传送高度。 注）使用的水平仪为 1Div = 0.05 mm/M < 顺序 > ① 拆下…
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3-4-3. 滑动架
请取下固定供料器和滑动架的 P.P 带。
请同样地取下固定把手的 P.P 带。
图 3-4-3
3-5. 基板的传送
请取下传送轨端部的气泡包装材料。
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4. 基板传送高度和水平的调整
4-1. 水平调整
<规格>
前后方向： 水平仪刻度（0.05mm/div）±1 刻度
左右方向： 水平仪刻度（0.05mm/div）±2 刻度
传送高度： 日本国内 H = 900 mm
至于海外，由于与国内的高度标准不一样，所以请满足客户的传送高度。
注）使用的水平仪为 1Div = 0.05 mm/M
<顺序>
① 拆下 4 个角的开闭保护罩的定位螺钉，打开包含机
器中央在内的开闭保护罩 6 处，拧松调节螺母。
另外，拧松调节器皿形部的带六角孔的螺钉（1 处
3 个）。
（确认调节器脚应可以自由移动。）
② 用扳手旋转调节器脚部，调节器⑤、⑥偏离地板安
装面。（为了在①、②、③、④处进行水平调整）
③ 调整前后方向的水平。把水平仪安装在底座车架两
边上面（图 4-1-2 双重线部分），上下移动调节
器①③、②④，调整为等级设定表的设定值±1 刻
度以内。
④ 调整左右方向的水平。使水平仪朝向侧面，
上下移动调节器①②、③④，调整为等级设
定表的设定值±2 刻度以内。（①②或③④
的调整若按同一角度进行能够抑制在前后方
向上的偏差）
⑤ 反复进行③、④的
操作，进行调整使底座上
面的水平在规定值以内。
②
⑥
④
后侧
①⑤ ③
前侧
图 4-1-1 从下面看到的主机图
图 4-1-2
水平仪
水平仪
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⑥ 用手旋转使调节器⑤⑥和地板相接触，从那里开始用扳手旋转 15°左右安装中心的调节器。
（由于若旋转 15°以上水平就会发生偏差，所以请确认水平仪。）
⑦ 锁定调节器螺母。此时，请确认在锁定状态下是否满足规定值。
⑧ 固定调节器的六角孔螺栓 A（３个）。
图 4-1-3
4-2. 调节脚的地面防滑
标准的调节脚应做地面防滑处理。（６处）
① 机器调整水平后，转动 M8×30（18 处）接触地面，从其位置转动 45 度。
② 用 M8 螺母拧紧固定。
图 4-2-1
水平仪刻度（设定值）的看法