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G -S003-01 0909-002 6 BLOCK2,3 BLOCK1,4 23 23 ノズルストッカ NOZZLE ST OCKER Fig. H-1 ベース部 Base Section

5

G -S003-01

0909-002

G -S003-01 G -S003-01

ノズルストッカ増設

Nozzle Stocker Addition

BLOCK2,3

BLOCK1,4

G -S003-01

0909-002

6

BLOCK2,3

BLOCK1,4

23

23

ノズルストッカ

NOZZLE STOCKER

Fig. H-1

ベース部

Base Section

G -S003-01

1012-003

7

Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS New Code

NOTE

H-1

23 6301280899 VALVE 1

803H-A210010-A023

225C0117