D3Parts List__N7202A043B.pdf - 第530页

94 メンテナンス治具:NPM MAINT ENANCE JIG:NPM パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 N610076379AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O337 ( KN610076379AA-03 )

100%1 / 672
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
93
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
GAUGE 0-500micro/scale20micro
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品　　番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610072047AA
Part Name
備　　　考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GAUGE
1
1 N510030573AA 234R type/V
O336
--
( KN610072047AA-00 )
94
メンテナンス治具:NPM
MAINTENANCE JIG:NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610076379AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O337
( KN610076379AA-03 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
94
メンテナンス治具:NPM
MAINTENANCE JIG:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品　　番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610076379AA
Part Name
備　　　考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GUN
1
1 KXF0DKRAA00 2-447-03(DA 0DKRA)
GREASE
1
2 KXF05PLAA00
A
BARRIERTA IEL/V
WRENCH
1
3 N510046569AA 207-2.5
GREASE
1
4 N510048190AA
A
LCG100(200gX1)
PIN-GAUGE
1
6 KXF0DYHTA00 AA-0.4
PIN-GAUGE
1
7 KXF0DYHUA00 AA-0.15
Cleanig Brush
1
8 N610093472AA
A
O338
--
( KN610076379AA-03 )