NPM Parts list(Mechanical 20090728).pdf - 第535页

Ref No. Remark s R 1 Q'ty 100 面補正 ジ グ: NP M XY Plane Calibration Jig:NPM ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610064253AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 GLASS 1 …

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100
面補正ジグ:NPM
XY Plane Calibration Jig:NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610064253AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O427
( KN610064253AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
100
面補正ジグ:NPM
XY Plane Calibration Jig:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610064253AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GLASS
1
1 N210079803AA
CASE
1
2 N510036040AA 460X460
O428
--
( KN610064253AA-01 )
101-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O429
( KN610081725AA-03-1 )