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26 NPM-D2: プロダクショ ン モジュラー NPM-D2:Production Modular キットレイアウト Model No. 製品品番 Model Name 製品名称 NM-EJM 5D KIT LAYOUT - - U51 ( KEJM5DS-03-26 )

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Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
25
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットリスト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LIST
1
92
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O305
1
93
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O325
1
94
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
O327
1
95
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O329
1
96
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O331
U50
--
( KEJM5DS-03-25 )
26
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットレイアウト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM5DS-03-26 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
26
NPM-D2:プロダクション モジュラー
NPM-D2:Production Modular
キットリスト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM5D
KIT LIST
1
97
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O333
1
98
N610081724AA
Standard Calibration Jig Kit:NPM
標準キャリブレーションジグキット:NPM
O335
1
99
N610102523AA
Standard Calibration Jig Case:NPM
標準キャリブレーションジグ用ケース:NPM
O339
1
100
N610131603AA
Machine Adjustment Jig Kit(Common Set):NPM
本体調整用ジグキット(共通部):NPM
O341
1
101
N610112814AB
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
面補正ジグ:NPM-D
O343
1
102
N610133833AA
Machine Adjustment Jig Case:NPM
本体調整用ジグ用ケース:NPM
O345
1
103
N610146224AA
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
精度検証用ジグキット:NPM
O347
1
104
N610102525AB
Accuracy Verification Jig Case:NPM
精度検証用ジグ用ケース:NPM
O351
1
105
N610102524AA
Pick-Up Height Teach Jig Case:NPM
吸着高さティーチジグ用ケース:NPM
O353
1
106
N610122649AA
Hight Sensor & Mount Hight Teach Jig Set:NPM
高さセンサ&装着高さティーチ治具セット:NPM
O355
U52
--
( KEJM5DS-03-26 )