SP60P-L Mechanical.pdf - 第103页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-B マスククリーニング ユニット (L) M ask Cl eanin g Un it(L ) イラスト No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX03BUA00 Part Name 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section No. R 3 SHAFT…

11-B
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M77
( KKXFX03BUA00-06-2 )

Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-B
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
イラスト
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
SHAFT
1
2 KXFB034HA02
COLLAR
1
3 KXFB00B2A00
KEY
1
4 KXFB00B0A00
PULLEY
1
5 KXFB00AZA00
PLATE
1
6 KXFB034JA00
FLANGE
1
7 KXFB034KA01
SHAFT
2
9 KXFB08YSB00
HOLDER
2
15 KXFB0357A01
HOLDER
2
16 KXFB0359A00
ROD
2
17 KXFB08YYA01
CLICK
4
18 N210028532AA
PIN
8
19 KXFB035DA00
FLANGE
2
20 KXFB035HB00
SHAFT
2
22 KXFB03XVB00
COLLAR
2
23 KXFB03XWB00
BEARING
1
37 KXF03FYAA00 SFB34-8
BRAKE
1
38 KXF09T0AA00 SBR-62-10
SCREW
5
39 XXE5D10FT
Hexagon socket set screw Cup point M5X10-45H SOB
PIN
4
40 KXF02YFAA00 MS5-10
COLLAR
4
41 KXF0DWTQA00 NCLB5-12-16.5
SPRING
2
42 KXF0E1M9A00 5440
PIN
2
47 KXF086LAA00 MS3-6
PAPER
2
49 KXFP6HGVA00
A
TS-100 D100X530W
BOLT
8
52 N510017630AA
Hexagon socket Flat head bolt M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
FLANGE
2
53 KXFB0ATRA00
M78
--
( KKXFX03BUA00-06-2 )

11-C
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M79
( KKXFX03BUA00-06-3 )