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9 保養光柵盤 SIPLACE D1 / D2 8.1 拾取模組的保養 （僅適用 於 SIPLACE D1 ） 2008 年 8 月中文版 80 9
SIPLACE D1 / D2 9 保養光柵盤
2008 年 8 月中文版 8.1 拾取模組的保養 （僅適用於 SIPLACE D1）
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(1) 順時針轉動長真空孔內的 1.4 mm 鑽頭以清除髒物。
轉動鑽頭，清除孔內的髒物。
(2) 利用 1.1 mm 鑽頭清除橫向真空孔內的髒物。
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執行此步驟時，應戴上實驗室手套。 9
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(3) 檢查虹吸板是否受損。
如果損毀，應更換。
(3) 用乾的無棉絮抹布清潔段位器光柵盤虹吸板。
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8.1 拾取模組的保養 （僅適用於 SIPLACE D1） 2008 年 8 月中文版
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SIPLACE D1 / D2 9 保養光柵盤
2008 年 8 月中文版 8.1 拾取模組的保養 （僅適用於 SIPLACE D1）
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(1) 使用蘸有無水乙醇的無棉絮抹布，清潔段位器光柵盤的邊緣。
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(2) 使用蘸有無水乙醇的無棉絮抹布，清潔段位器光柵盤的光學尺。
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(3) 使用蘸有無水乙醇的無棉絮抹布，清潔段位器光柵盤軸。
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(4) 使用蘸有無水乙醇的無棉絮棉棒，小心清潔球狀收集盤邊緣。
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