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총 목차 읽 으 시기 전에 1. 안 전 에 대 해 i 1. 1 안 전 에 대 한 부 탁 i 1. 2 안 전 표 기 에 관 해 서 i i 1. 2 .1 안전표 기의 구 분 i i 1. 2 . 2 지켜야 할 기 본 사 항 예 i i i 1. 3 경 고 라 벨 에 관 해 서 v 1. 4 경 고 라 벨 부 착 장 소 x 2 . 보 증 에 대 해 x i i 3 . 각 …
총목차
읽으시기 전에
1. 안전에 대해 i
1.1 안전에 대한 부탁 i
1.2 안전표기에 관해서 i
i
1.2.1 안전표기의구분 ii
1.2.2 지켜야할기본사항예 iii
1.3 경고라벨에 관해서 v
1.4 경고라벨 부착장소
x
2. 보증에 대해 xii
3. 각 장의 내용 xii
i
4. 유지보수 항목일람 xi
v
제 1 장 유지보수에 대해
1. 장비의 성능을 유지하기 위해서는 1-1
1.1 필수조건 및 환경조건 1-1
1.2 정기적인 점검
•
청소의 중요성 1-
1
2. 유지보수 작업 준비 1-2
2.1 소모품과 교환부품 ( 고장시 ) 1-2
2.1.1 소모품 1-2
2.1.2 교환부품 ( 고장시 ) 1-5
2.2 유지보수 공구 1-6
2.2.1 클리닝공구 1-6
2.2.2 급유공구ᆞ그리스 1-8
2.3 필요 공구 1-10
제 2 장 일상 유지보수 항목
1. 노즐상태 확인 2-1
1.1 소프트웨어로 확인 2-1
1.2 육안으로 확인 2-
3
2. 노즐 판 스프링 확인 2-4
3. 버핑 상태 확인 2-
5
4. 피더 플레이트 청소 2-
6
5. 카메라 투명커버 청소 2-
7
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 또는 격주 3-1
1.1 TypeA 노즐의 청소 3-1
1.2 TypeF 노즐
의 청소 (YG100RA) 3-3
1.2.1 FNC 노즐ASSY 분해 3-3
1.2.2 FNC 노즐ASSY 분해청소 3-5
1.2.3 FNC 락핀의청소 3-9
1.2.4 FNC 노즐ASSY 의장착 3-10
2. 매월 또는 격월 3-13
2.1 노즐홀더의 청소
•
급유 3-1
3
2.2 X, Y, W 축의 청소
•
급유 3-1
5
2.2.1 X,Y,W 축볼스크류의청소
•
급유 3-15
2.2.2 X,Y,W 축리니어가이드청소
•
급유 3-18
2.3 Z 축과 락 기어의 청소
•
급유 3-1
9
2.4
에어 / 수분 필터 점검
•
청소 3-2
0
2.5 카메라렌즈
조명의 청소 3-22
2.6 각 축의 볼 스크류 및 리니어 가이드 점검 3-2
5
3. 6 개월 또는 1 년 3-26
3.1 이젝터 필터의 청소
•
교환 3-2
6
3.2 스플라인 샤프트안의 청소
•
급유 3-2
7
3.2.1 스플라인샤프트안의세척 3-27
3.2.2 급유부압상태의확인 3-29
제 4 장 소모품 교환방법
1. 노즐 판 스프링 교환 4-1
1.1 표준헤드의 노즐 판 스프링의 교환 4-1
1.2 정밀헤드 (YG100RB) 의 노즐 판 스프링 교환 4-
2
2. 에어 조인트 교환 4-3
3. 이젝터 밸브의 교환 4-
4
4. 피더 밸브 교환 4-
7
5. 기판반송부 청소와 벨트교환 4-
8