ACCRETECH AD3000T PLUS_C.pdf - 第2页
Max. work size Φ 305 mm Max. number of frames 12 inch (SEMI G74-0699) Spindle Rotation 60,000 min-1 80,000 min-1 (Option) Max. blade diameter Φ 60 mm (2-Inch) Φ 80 mm (3-Inch) (Option) Rated Output 1.8 KW X axis Availabl…
全自动切割机
快速,精确,创新
必需的X轴移动距必需的X轴移动距
离最小化离最小化
对向型双轴机
东京精密自1970 年开发了第一台晶圆切割机 A-WD-75A 以来 , 为高精
度芯片分割和半导体产业开始时期的高效率化做出了很大的贡献
。
继承开发当初的技术的基础上 ,融合了最新的 Fluidics・
Mechatronics・Energy Conservation技术的 AD3000T-PLUS,
正引领世界的切割技术
。
世界最小的占地面积世界最小的占地面积
使用本公司核心技术使用本公司核心技术
实现世界最小占地面积的切割机实现世界最小占地面积的切割机
旧机型的 68%旧机型的 68%
世界最快的双轴切割机世界最快的双轴切割机
X 轴 1000mm/sX 轴 1000mm/s
Y 轴 300mm/sY 轴 300mm/s
实现了速度最快和 CoO 最低实现了速度最快和 CoO 最低
维护便捷维护便捷
大型的前部维护门大型的前部维护门
更方便进行日常的维护更方便进行日常的维护
进化的 GUI进化的 GUI
世界首创在双轴机上搭载 GUI 技术世界首创在双轴机上搭载 GUI 技术
标准配置 HELP 功能标准配置 HELP 功能
Max. work size Φ 305 mm
Max. number of frames 12 inch (SEMI G74-0699)
Spindle
Rotation
60,000 min-1
80,000 min-1 (Option)
Max. blade diameter
Φ 60 mm (2-Inch)
Φ 80 mm (3-Inch) (Option)
Rated Output 1.8 KW
X axis
Available cutting range
310 mm
Max. Speed 1,000 mm/s
Y1/Y2 axes
Available cutting range
310 mm
Max. Speed 300 mm/s
ResolutionResolution 0.078 µm
Accuracy 0.002 mm / 310 mm
Z1/Z2 axes
Stroke 35 mm
Resolution 0.002 µm
Max. Speed 80 mm/sec
Repeatability 0.001 mm
θ axis Range of rotation 380°
Misc
Voltage
3 Phase AC200 to 220 V ±10%
(Transformer adoptable)
Power consumption 6.0 kVA (MAX)
Air pressure 0.55 ～ 0.7 MPa
Avg. Air consumption 210 L/min (0.55 MPa)
Avg.Clean Air consumption
140 L/min
Cutting Water,
and others (pressure)
0.3 ～ 0.5 MPa
Cutting Water,
and others (Max Flow)
Cutting water: 10.0 L/min
Water curtain: 3.0 L/min
Others: 0.6 L/min
Cooling Water
(pressure)
0.3 ～ 0.5 MPa
Cooling Water
(Max Flow)
3.4 L/min (0.3 MPa)
Exhaust 5.0 m
3
/ min more
Size (W*D*H)
1,290 mm x 1,530 mm x 1,900 mm
Weight 1,360 kg
选配单元的小型化， 内部设计的优化， 使得主要选配单元
内藏成为可能。
标准搭载 6 万转的主轴
（8 万转选配可对应）
加工效率提高
① X 轴速度 1000 mm/s, Y 轴速度 300 mm/s, Z 轴速度 80 mm/s
②搭载 2 个光学式测高单元
17 英寸触摸屏 + 新 GUI
搭载了 GUI( 用户操作界面） , 易于观察的画
面和大型的按钮 , 在增强操作性的同时 , 采用
了对话式的容易理解的输入方式
维护性向上
大型的前部维护门提高了维护的便利性
磨刀工作台
可搭载 2 片 75 mm×75 mm 尺寸的磨刀板
。
各主轴上的刀片可使用专用磨刀板进行修磨
。
可搭载 Air micron 单元
非接触式测量胶带的厚度和工件的厚度
。
精确控制加工高度 , 实现高精度切割
高精度控制加工高度
加工中 X/Y/Z 轴同时控制 , 可对工件高度的起伏进行追踪 ,
实现高精度加工
。
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特 征 规 格
メンテナンス
AD3000T/AD3000T-PLUS与旧机型 (A-WD-300TX)
相比， 成功实现了小型化。
旧机型
AD3000T-PLUS
4台
5台
▲ 新 GUI
维 护
安装空间
充实的 option
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