SFE(CS120-6B)系列排气过滤器数据表.pdf - 第2页
安装扩展品种 关于中空纤维膜 由麦秆状带小孔纤维的多孔质构造的中空纤维膜。 中空纤维过滤, 是指通过多层纤维孔, 捕捉 ∙ 过滤压缩空气中的杂质。 SFE 系列 外螺纹型 插入型 快换接头型 过滤 杂质 ( 形象图 ) ( 形象图 ) 洁净空气 系列 最大处理流量 L/min(ANR) M5 R1/8 R1/4 ø4 ø6 ø8 ø10 ø4 ø6 ø8 ø10 SFE1 3 SFE3 30 SFE4 65 SFE5 130 SFE7 …

外螺纹型
主体
PBT
静密封圈
NBR
、不锈钢
(SFE11 M5
螺纹的情况
)
可直接安装快换接头。
减少安装工时。
排气∙溢流无管化。节省安装空间、减少安装工时。
洁净室内
(
洁净等级
4
※
: ISO14644-1)
可直接排气
!
只需安装在洁净室内的气动设备上,便可实现直接排气。
クリーンルーム内
レギュレータ
リリーフポート
配管不要
バルブ
シリンダ
AMP
クリーンエキゾーストフィルタクリーンエキゾーストフィルタ
洁净室用
排气过滤器
洁净室用
排气过滤器
洁净室内
减压阀
阀
气缸
AMP
AMP
溢流口配管
以前
導入後
引入后
洁净室内
减压阀
阀
气缸
不再需要的配管
不再需要
排气口、
溢流口配管
最大处理流量
200
L/min(ANR)
消音效果
30dB
(A)
以上
0.01µm
过滤精度
(
捕捉效率
99.99
%)
与气缸溢流口的配管
与减压阀
溢流口的配管
与电磁阀
排气口的配管
插入式
追加快换接头型
SFE
系列
CAT.CS120-6B
洁净室用
排气过滤器
RoHS
(
※在本公司测试条件下
)
内置中空纤维膜
聚烯烃

安装扩展品种
关于中空纤维膜
由麦秆状带小孔纤维的多孔质构造的中空纤维膜。
中空纤维过滤,是指通过多层纤维孔,捕捉∙过滤压缩空气中的杂质。
SFE
系列
外螺纹型 插入型
快换接头型
过滤
杂质
(形象图)
(形象图)
洁净空气
系列
最大处理流量
L/min(ANR)
M5 R1/8 R1/4 ø4 ø6 ø8 ø10 ø4 ø6 ø8 ø10
SFE1
3
SFE3
30
SFE4
65
SFE5
130
SFE7
200
快换接头型
●无排气方向空间的情况
●与接头干涉的情况
节省空间
设置
NewNew
1

选定方法
SFE
系列
型号选定方法
请根据流量特性图表,及安装元件的排气流量,选定洁净室用排气过滤器型号。
首先,请根据「q计算排气流量」得出元件的排气流量,再依据「w基于排气流量选定型号」进行选定。如已知排气流量,请直接参
考「w基于排气流量选定型号」进行选定。
q计算排气流量
1)
气缸的排气
(
电磁阀的排气
)
1.
对照下图,通过使用气缸的缸径及驱动速度求出排气流
量。
2.
参考下式,将求出的排气流量按照使用压力
(
向气缸提
供的压力
)
换算为修正排气流量。
修正排气流量=排气流量×
向气缸提供的压力
(
表压
)
+
0.1
0.5
3.
集装式等集中配管、多气缸共同作业的情况,合计所
有气缸的排气流量,得出最大处理流量。
2)
真空发生器的排气
计算真空发生器排气流量时,将吸入空气流量加上消耗空
气流量,作为排气流量。
3)
其它元件的排气
请以各元件所记载的消耗流量为准。
w基于排气流量选定型号
由「q计算排气流量」算出的排气流量,即为表
2
中的处理
流量,请根据处理流量
(
虚线
)
与流量特性
(
实线
)
的交叉点
选定型号。
·
型号不同,负载背压可能影响正常动作或性能,请依据
样本等,确认元件不受背压影响的范围,再选定型号。
·
气缸至排气口配管较长时,排气阻力会增大,所以请注
意留出余地。
·
安装元件时,可能出现与配管干涉的状况,请确认外形
尺寸,防止干涉。
0
50
100
150
200
250
300
0 100 200 300
400
500 600 700
800
气缸驱动速度[mm/s]
排气流量[L/min(ANR)]
95
ø10
ø40
ø25
ø20
ø32
表
1
气缸的排气流量计算表
(
排气节流
)
例
)
管径
ø32
、驱动速度
400mm/s
、供压
0.5MPaG
的情况
1.
从图表得,排气流量为
95L/min(ANR)
。
2.
从换算式得修正排气流量
95
×
0.5
+
0.1
0.5
=
114L/min(ANR)
SFE5
SFE7
SFE1
SFE3
SFE4
0
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180
200
处理流量[L/min(ANR)]
SFE输入压力/背压[MPa]
表
2
流量特性
图示为推荐使用的流量范围。
(
初期状态
)
在处理流量为
80L/min(ANR)
的情况下,与该流量相关的流量特性曲
线为
SFE5及SFE
7
,因此请从SFE5、SFE7中选择。
2