KE-3010A_KE-3020VA_KE-3020VRA-Rev14PDFA.pdf - 第108页
- 101 - 51. FCS COMPONENTS ＦＣＳ 関係 3 1 19 19 17 6 15 18 2 4 7 8 9 10 26 14 16 14 15 20 22 13 23 25 12 24 11 5 27
- 100 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-48055 MINI PATLITE ASM
ミニパトライト組
2
2 BT-0600400-EC URETHANE TUBE BLUE 6X4
ポリウレタン チューブ 青 ６Ｘ４
0.15
3 BT-0400251-EA URETHANE TUBE BLUE 4X2.5
ポリウレタン チューブ 青 ４Ｘ２．５
0.25
4 400-45984 SOT CHECK BASE
ＳＯＴチェックベース
1
5 SM-1030601-SC SCREW M3 L=6
皿ねじ Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
2
6 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
1
7 401-47666 SOT_VALVE_20VA_ASM
ＳＯＴバルブ ２０ＶＡ組
1
8 PV-1305410-00 3-PORT SOLENOID VALVE
３ポート電磁切替弁
(1)
9 PX-0505010-00 SILENCER
消音器
(1)
10 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハ−フユニオン
(1)
11 PJ-3040605-02 ELBOW UNION 6XM5
エルボユニオン ６ＸＭ５
(1)
12 SM-6031202-TN SCREW M3X12
六角穴ボルト Ｍ３Ｘ１２
(2)
13 401-46942 CAL_VALVE_BRKT
ＣＡＬバルブブラケット
(1)
14 PF-0100030-A0 AIR SUCTION FILTER
エア サクション フィルタ
(1)
15 SM-1030601-SC SCREW M3 L=6
皿ねじ Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(2)
16 BT-0400251-EA URETHANE TUBE BLUE 4X2.5
ポリウレタン チューブ 青 ４Ｘ２．５
(0.08)
17 SL-6030892-TN SCREW M3 L=8
座金付き六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝８
2
- 101 -
51.FCS COMPONENTS
ＦＣＳ 関係
3
1
19
19
17
6
15
18
2
4
7
8
9
10
26
14
16
14
15
20
22
13
23
25
12
24
11
5
27
- 102 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR ST ＳＴ 用
#02....FOR JE ＪＥ 用
#03....FOR CH ＣＨ 用
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-27209 FCS PWB ASM(FOR FCS)
ＦＣＳガラス基板組
1
2 400-11454 GLASS PWB(FOR MNVC)
ガラスジグ基板（ＭＮＶＣ）
(1)
3 400-18223 JIG PWB BASE(FOR CHIP)
治具基板ベース（チップ）
(1)
4 400-27196 DRAWING PAPER
色画用紙（黒）
(1)
5 400-34082 FCS POSITIONING SEAL
ＦＣＳポジショニングシール
1
6 400-20304 FCS JIG CHIP B
ＦＣＳ治具チップＢ
2
7 400-27147 SILICON SHEET
シリコンシート
96
8 E2101-998-000 JIG NOZZLE A (V001)
治具ノズルＡ（Ｖ００１）
1
9 400-27210 FCS CARRYING CASE
ＦＣＳキャリングケース
1
10 400-66810 INNER PACKAGE A
インナーパッケージＡ
1
11 400-66811 INNER PACKAGE B
インナーパッケージＢ
1
12 400-27198 MENDING TAPE
メンディングテープ
1
13 400-27316 FCS JIF CHIP CASE
ＦＣＳ治具チップケース
1
14 400-27312 FCS JIG CHIP HOLDER
ＦＣＳ治具チップホルダ
(1)
15 400-27313 INNER A
インナーＡ
(2)
16 400-27314 INNER B
インナーＢ
(1)
17 400-27315 INNER C
インナーＣ
(2)
18 400-27410 INNER D
インナーＤ
(1)
19 400-11453 CAL PIECE G
ＣＡＬピースＧ
2
20
#01
400-71544 FCS OPERATION MANUAL(ST)
ＦＣＳ操作マニュアル（ＳＴ）
1
21
#02
400-71545 FCS OPERATION MANUAL(JE)
ＦＣＳ操作マニュアル（ＪＥ）
1
22
#03
400-71546 FCS OPERATION MANUAL(CH)
ＦＣＳ操作マニュアル（ＣＨ）
1
23 400-01344 NOZZLE ASSEMBLY 506
ノズルアッセンブリ５０６
1
24 400-66812 CUSHION A
クッションＡ
1
25 400-66813 CUSHION B
クッションＢ
1
26 400-27235 TRAYSEE
めがね拭き
1
27 400-46647 JIG NOZZLE LNC
治具ノズルＬＮＣ
1