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第 1 部基本编第 3 章维护 3-7 1) 请目检确认贴片头单元正面部过滤器箱内的空气过滤器没有脏污。 ✎ 检查过滤器脏污的方法 ✎ 在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」，再执行「设置组」→「真空校准」。（参见「 11 -2-5 真空校准」）执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。 2) 有脏污时，请更换新过滤器。 1) 把过滤器箱的「固定螺丝②」拧松，取下「过滤器箱 U ① 」…

第 1 部基本编第 3 章维护

3-6

(2)管道系统图(贴片头)

(3)管道系统图(统一更换台，4处通用)

φ6

ローラレバー

セレクタ

パイロットチェック弁

φ6

HEAD

Vac-Sw

φ8

喷射泵

吸嘴

过滤器

压力传感器

调谐旋钮

先导检查阀

φ6

滚筒杆

φ6

第 1 部基本编第 3 章维护

3-7

1) 请目检确认贴片头单元正面部过滤器箱内的空气过滤

器没有脏污。

✎检查过滤器脏污的方法✎

在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」，再执行

「设置组」→「真空校准」。（参见「11-2-5 真空校准」）

执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。

2) 有脏污时，请更换新过滤器。

把过滤器箱的「固定螺丝②」拧松，取下「过滤器箱 U① 」。

2) 检查「过滤器③」有无脏污。

若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。

把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」，差到底，用「固定螺丝②」固定好。

(安装扭矩:0.7N、m)

此时，请确认

「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。

检查项目

3-2-5 空气过滤器（LNC60、IC 头共通）

实施频度：每月

检查内容检查空气过滤器脏污

更换更换新的空气过滤器使用工具：六角扳手更换标准： 6 个月

③

④

②

⑤

过滤器③ 货号：40046646

①

第 1 部基本编第 3 章维护

3-8

1) 请检查传送带有无明显的磨损、破损、松弛。

2) 有磨损、破损等时，请更换新的传送带。

1)把安装在 A 部位长孔中的“传送滑轮(前后 2 处)”松开，放松传送带的张力。

2) 请从传送滑轮上拆下传送带，进行更换。

200mm

201mm

搬送ベルト

3) 请调整传送带的张力。

① 在传送带处于松弛状态时(在传送带上没有张力的状态)，用“油性笔”在传送带上平坦部分“B”

间距200mm处做2处标记。

② 按照与1)相反的步骤，转动“A部”的“传送滑轮”，撑紧传送带张力，在2处标记的间距达到

201mm的位置时拧紧传送滑轮。

③ 安装完毕后，执行「手动控制」数分钟，检查有无异常声音、脱落等问题。

④ 1周以后再检查1次张力。

〈传送带货号〉

基板尺寸中心用

IN、OUT 用

标准

选项

传送延长 150mm 传送延长 250mm

M 40000864

40000863 40011058 40011065

40001070

L-Wide 40000790 －－

E 40001860 40075461 40075460

检查项目

3-2-6 传送带

实施频度：每周

检查内容检查传送带的磨损、破损、松弛

更换

更换传送带

使用工具：

螺丝刀、扳钳

更换标准： 1 年

传送带