CP-842E-02 PART LIST.pdf - 第371页
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PUMP VACUUM(PV) 3/
真空ポンプ(PV) 3/
番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 材質 備考
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks
1 A4090T 1 ELEMENT
エレメント
04A30159010(KHA750ヨウ) OT
2 H3018M 1 FILTER
フィルタ
KH750Aヨウフィルタ OT 03037296060(RA05V-G6)
3 H3103T 6 BLADE
ブレード
04038284010(KHA750ヨウ) OT
4 H4044T 2 BEARING
ベアリング
04038287010(6304ZZトク) FE
5 H4453H 1 BELT
ベルト
35303430020(7M670バンフレックス) OT
6 M5001N 1 MOTOR
モータ
0A000081000 OT 0.75KW4P3φ200r
7
R1027A
2
LINER
ライナ
04000040010(KHA750ヨウ)
OT
Note.1
Note.1:The actual number varies between six and eight depending on the adjustment for the pump at the time of assembly.
One set contains four liners.
:枚数は組立時の調整によりポンプ固体で異なり、6∼8枚使用します。1セットは4枚組です。
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Y-axis CALIBRATION UNIT(PY)
Y軸補正ユニット(PY)
番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 材質 備考
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks
1 DGPY0060 1 JOINT ジョイント FE
2 N1090A 1 NUT, HEX ナット 六角 M 8 P=1.25 3シュ FE
3 N1090B 1 NUT, HEX
ナット 六角
M8 P=1.25 ヒダリネジ 3シュ FE
4 DGPY0070 1 BKT BKT FE
5 H5290A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M04X015 FE
6 W1022A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 4M/M FE
7 W1041A 2 WASHER, FLAT ワッシャ 平 4M/MX0.8X9(1W-4) FE
8 H5275A 4 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X008 FE
9 W1010A 4 WASHER, CONICAL ワッシャ 皿 M- 3-L FE
10 DGPY0081 1 BKT BKT FE
11 H5274A 8 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X006 FE
12 W1010A 8 WASHER, CONICAL ワッシャ 皿 M- 3-L FE
13 N4021A 4 SCREW, HEX SOCKET SET ネジ 六角穴止め M03X006 FE
14 N1077H 4 NUT, HEX ナット 六角 M 3 P=0.5 3シュ FE
15 DGPY0090 1 GUIDE, RAIL ガイド レール 2RSR9NUUC1+115L OT
16 H5273A 6 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X005 FE
17 DGPY0111 1 BKT BKT FE
18 H5274A 6 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X006 FE
19 DGPY0120 1 HOLDER ホルダ FE
20 DGPY0140 1 SHAFT シャフト LSAG6C1R51 **** OT
21 DGPY0150 1 COLLAR カラー FE
22 DGPY0161 1 HOLDER ホルダ FE
23 DGPY0170 1 COLLAR カラー FE
24 DGPY0180 3 BOLT, AJUSTING ボルト セリ FE
25 DGPY0190 1 HOLDER ホルダ FE
26 H5289A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M04X012 FE
27 W1022A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 4M/M FE
28 DGPY0200 1 HINGE ヒンジ HCCPH4-23.5 OT
29 DGPY0210 1 BOLT ボルト FE
30 N1081T 1 NUT, HEX ナット 六角 M 4 3シュ FE
31 DGPY0220 1 SPRING スプリング FE
32 DGPY0280 1 BKT BKT FE
33 H5324A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M06X020 FE
34 W1024A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 6M/M FE
35 DGPY0291 1 BKT BKT FE
36 H5321A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M06X012 FE
37 W1024A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 6M/M FE
38 W1045A 2 WASHER, FLAT ワッシャ 平 4W- 6 FE
39 H5299A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M05X012 HRC34-44 FE
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