PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第77页
2 - 16 Tg 1301 -ID-MD 基板チャック部レイアウト 5 0602 - 001 -(M 831 YE--- 1005 ) 基板チャック部レイアウト 5 Table 5C7 記 号 名 称 B211 テーブルθ軸原点 B213 テーブルθ軸オーバラン（-） M19 テーブル X 軸サーボモータ M21 テーブルθ軸サーボモータ 16
2-15
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 4
0602-001-(M831YE---1004)
基板チャック部レイアウト 4
Table 5C6
記 号 名 称
B4A 真空スイッチ
M25 レール幅異常切替えパルスモータ
B4A 真空スイッチ
2-16
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 5
0602-001-(M831YE---1005)
基板チャック部レイアウト 5
Table 5C7
記 号 名 称
B211 テーブルθ軸原点
B213 テーブルθ軸オーバラン（-）
M19 テーブル X 軸サーボモータ
M21 テーブルθ軸サーボモータ 16
2-17
Tg1301-ID-MD
スクリーンホルダ部レイアウト
0602-001-(M831YF---1001)
スクリーンホルダ部レイアウト
Table 5C8
記 号 名 称
B291 スクリーン Y 軸原点
B294 スクリーン Y 軸回転原点
M27 スクリーン Y 軸パルスモータ
B6F スクリーンクランプ解除確認