Pemtron SPI 检测原理.pdf - 第2页

2 D & 3 D 检测的基本原理 ( 体积 , 面积 & 商度 ) PMP 3 D 架 构 ( 相位检测 PROPHILOMFTE ) PMP 原理 ■ 在锯膏表面形成条纹投形 P E M T R I N PMP 光学系统 通过光线反射计算出高度和外形 ( 大量运算 ) Object ㈢ Crossed - optical - axes geom & trv

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Pemtron SPI
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检测原理
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原理
在锯膏表面形成条纹投形
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通过光线反射计算出高度和外形
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这样可以更加
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4
同时也可以漏
试到傷膏外形分布
傷裔的高度和休积部分可以通过
3
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来做测试
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