KE-2050-2060-QA表.pdf - 第33页

机 种 2.左右后通道的平行度 2-1.确 认 方法 ①把上 图 的 夹具 固定到左 侧 的2个后通道部。 ② 把测定仪器安装到夹具右端,顶到右侧的后通道内侧面。 ③在全行程移 动夹具,确认平行度为 20μm以下。 2-2. 调整 方法 ①在后通道的前后两端附近,上 图表示的底架 Y 轴 部 侧面 的加工面和后通道的 NO. 担当人 距离 调整为 14.5mm。 ② 拧 松平行度 规格 外的右 侧后通道螺丝,调整轨道位置,把平行度重新调…

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1.左的后t通道真直度
1-1.确方法
①安装为了设置I型伸缩的夹具
的Y后通道的真直度 :20μm以下 ②把拨盘表安装到后通道块,在导向器的两端调整I型伸缩位置
左右的Y右t通道平行度 :20μm以下 让拨盘表的直”0”。
③在后通道的全行程,确真直度20μm以下。
1-2.调整方法
①左图所示的底座的Y轴部的侧面加工面和后通道的距离在后通
的前后两端距离,调整为14.5mm。
松真直度为规格外的后通道螺丝,把轨道位置的真直度重新
调整到为20μm以下,拧紧
Y坐标有关X坐位置的偏斜,影响X方向的装精度。
后通道增加负荷,轴后通道损坏,降低寿命。
1.装精度(X方向)的恶化
2.Y方向移动时发生异常声音
3.Y后通道损坏,降低寿命。
NO
NO. 担当人
【5】-7
QA表 NO. 8 (1/2) NO. 8 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(5)
方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
后通道的真直·平行(1/2)
编制日期
2002/10/7
质量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意
预想故障应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
40000700 后通道Y
变更
货号
品名
关质量特性
内容
设定
40000703 后通道Y(L)
日期
2.左右后通道的平行度
2-1.确方法
①把上夹具固定到左的2个后通道部。
把测定仪器安装到夹具右端,顶到右侧的后通道内侧面。
③在全行程移动夹具,确认平行度为20μm以下。
2-2.调整方法
①在后通道的前后两端附近,上图表示的底架侧面的加工面和后通道的
NO. 担当人
距离调整为14.5mm。
松平行度规格外的右侧后通道螺丝,调整轨道位置,把平行度重新调整
1
20μm以下,然后拧紧丝。
【5】-8
QA表 NO. 9 (1/2) NO. 9 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(5)
功能名称
后通道的真直·平行(2/2)
编制日期
2002/10/7
质量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
变更
日期 内容
设定
2002/12/26
到右的后通道侧面到右的后通道内侧面。
测定仪器
夹具
后通道(左侧)
后通道(右侧)
X机架端L、R的基准面与装板的直角度 :0.03mm以下
1.确方法
以Xフ架端L、R的Y轴后通道安装面为基准,使用测方仪测定夹具贴装头板的直角度,
认应为0.03以下。
夹具贴板的位置,在X架左右两端的2处测定
另外,测方仪的放置位置应在夹具贴装头板的中央
2.调整方法
基板传送面和的直角度非常重要。 在X架端和X架的安装面,组合X端调整间隙片A(t0.1)、X端调整间隙片B(t0.05)、
X端调整间隙片C(t0.03),调整直角度。
1.装精度恶化
2.吸附不良
NO
NO. 担当人
5
-9
QA表 NO. 10 (1/2) NO. 10 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(6)
方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
板的直角
编制日期
2002/10/7
质量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意
预想故障应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
40000656
机架
变更
货号
品名
关质量特性
内容
40000658 X机架端R
设定
40000657 X机架端L
日期
40000663
X端部调节间隙
40000662
X端部调节间隙
40000664
X端部调节间隙
面(里侧)
)
X架端R
X
轴缝
X
轴缝
X架端R
X端轴缝
F面(里侧)
夹具
X
E面(里侧)
YL M导向器安装面
YL M导向器