03228998-04-01 DEK TQ Operator Manual zh-CNPDFA.pdf - 第13页
2 安全 2.3 风险 操作手册 DEK TQ 04/2021 13 2.3 风险 2.3.1 危险材料 ASM 不推荐将 NFPA 497（国家防火协会）定义的危险材料用于本机。如果使用危险材料，则必须 按照 SEMI S12 或当地等效法规进行净化处理。 2.3.2 危险区域
2 安全
2.2 安全提示
12 操作手册 DEK TQ 04/2021
2.2.4 强制性
强制性
。需戴防护眼镜。有毒物质可能存在
强制性
有毒物质可能存在。 安全手套必须坚固。
2 安全
2.3 风险
操作手册 DEK TQ 04/2021 13
2.3 风险
2.3.1 危险材料
ASM 不推荐将 NFPA 497（国家防火协会）定义的危险材料用于本机。如果使用危险材料，则必须
按照 SEMI S12 或当地等效法规进行净化处理。
2.3.2 危险区域
2 安全
2.3 风险
14 操作手册 DEK TQ 04/2021
2.3.2.1 直线电机
1
2
项目 描述 项目 描述
1 相机 Y 和下模板清洁直线电机 2 相机 X 直线电机