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4-25 4 5.4 基板传送带的张力检查 下面,介绍检查传送带张力的方法与调整张力的方法。 ■ 使用张力计测定时 使用张力计时,传送带张力的规格值如下。 • 张力值 : 190 〜 160Hz • 跨距长度 : 128mm 使用张力计时的跨距长度 128mm 55430-M6-00 ■ 不使用张力计测定时 使用张力计时,跨距长度的规格值如下。 • 跨距长度 : 35 〜 38mm 不使用张力计时的跨距长度 35 〜 …

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5.4 基板传送带的张力检查
下面,介绍检查传送带张力的方法与调整张力的方法。
■ 使用张力计测定时
使用张力计时,传送带张力的规格值如下。
•
张力值 :190 〜 160Hz
•
跨距长度 :128mm
使用张力计时的跨距长度
128mm
55430-M6-00
■ 不使用张力计测定时
使用张力计时,跨距长度的规格值如下。
•
跨距长度 :35 〜 38mm
不使用张力计时的跨距长度
35〜38mm
55431-M6-00

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■ 张力的调整方法
需要调整传送带的张力时,请按照下列步骤调整。前后传送带需要同时调整。
e
1
按紧急停机按钮。
为保障作业安全,需将检查机置于紧急停机状态。
2
打开检查机的正面安全机门。
3
拧松张紧轮。
如右图所示,用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧松张
紧轮。
4
调整传送带的张力。
需要加大张力时,将张紧轮向检查机的内侧滑动 ;
需要放松张力时,将张紧轮向检查机的外侧滑动。
5
固定张紧轮。
用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧紧张紧轮进行固定。
c
注意
张紧轮的拧紧扭矩为 :5.5N
•
m。
6
确认传送带的传送状态。
1. 用手转动六角轴使传送带转动,确认传送带转
动顺畅,无挠曲。
若挠曲过大,需重新调整张紧轮的位置。
2. 关闭检查机的正面安全机门,将紧急停机按钮
向右转动之后按 [READY] 按钮,解除检查机的
紧急停机状态。
3. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 基板
传动左 ]、[ 基板传动右 ] 按钮,使传送带转动。
e
4. 按紧急停机按钮之后,打开检查机的正面安全
机门,确认传送带的状态。若没有问题,则可
以结束调整作业。
放松传送带的张力
Step 3
内六角扳手(5)
张紧轮
内六角扳手(4)
55432-M6-00
