NP-153E-03.pdf - 第101页

29.PFU ｴｱｰ配管図(DAWB) 29.PFU Pneumatic circuit diagram(DAWB) 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks 2 S2088Y 1 CYLINDER, AIR ｼﾘﾝﾀﾞ ｴｱｰ FCD-KL-50-150-MOV-H-N-FL25 4 A1845DAU…

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29.PFU エアー配管図(DAWB)
29.PFU Pneumatic circuit diagram(DAWB)
29.PFU エアー配管図(DAWB)
29.PFU Pneumatic circuit diagram(DAWB)
NP-153E PARTS LIST ver03
29 - 1
X1.10475
カット
テ−プカッタ−
23
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B
1
R
P
33SOL-1
BA
φ10
ＭＴＵ
ＰＦＵ
Ａｉｒ
エア−
ＳＩＤＥ２
A
A
23
9
ＰＦＵ
Ｔａｐｅ ｃｕｔｔｅｒ
φ8
9
φ6
φ6
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φ6
φ6
2121
2
ＣＵＴ
Ａｉｒ
エア−
ＳＩＤＥ１
33SOL-1
19
φ10
20 20
4
19
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10
5
2
R
A
29.PFU ｴｱｰ配管図(DAWB)
29.PFU Pneumatic circuit diagram(DAWB)
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
2 S2088Y 1 CYLINDER, AIR ｼﾘﾝﾀﾞ ｴｱｰ FCD-KL-50-150-MOV-H-N-FL25
4 A1845DAUF3171 1 MANIFOLD ﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ
5 1 VALVE, SOL ﾊﾞﾙﾌﾞ SOL F15T1-A2-PS3DC24V
9 K5348D 2 CONTROLLER, SPEED ｺﾝﾄﾛｰﾗ ｽﾋﾟｰﾄﾞ AS3001F-06
10 Y3054A 1
UNION, ELBOW
ﾕﾆｵﾝ ｴﾙﾎﾞ KQL08-02S
18 . 1 UNION ﾕﾆｵﾝ TL8-01
19 S1053F 2
SILENCER
ｻｲﾚﾝｻ KM-11
20 2 UNION ﾕﾆｵﾝ TSH6-01
21 Y3051A 2 UNION ﾕﾆｵﾝ KQL06-01S
22 Y3058L 1
UNION, HALF
ﾕﾆｵﾝ ﾊｰﾌ KQH16-04S
23 2 UNION ﾕﾆｵﾝ KQF06-03
24 2 CYLINDER, AIR ｼﾘﾝﾀﾞ ｴｱｰ CDQ2A25-20DCM-A73
NP-153E PARTS LIST ver03
29 - 2
29.PFU ｴｱｰ配管図(DAWB)
29.PFU Pneumatic circuit diagram(DAWB)
30.銘板､シール
30.Nameplate､Seal
30.銘板､シール
30.Nameplate､Seal
NP-153E PARTS LIST ver03
30 - 1
CAUTION
NZL CLEANING ON 2
NZL CLEANING ON 1
ノズル清掃ON 2
ノズル清掃ON 1
11SOL-05
21SOL-05
AIR
0.5MPa
AIR
0.4MPa
１１ＬＳ−３ １６ＳＴ
１１ＬＳ−１  １ＳＴ
１１ＬＳ−４ １３ＳＴ
２１ＬＳ−３ １６ＳＴ
２１ＬＳ−１  １ＳＴ
２１ＬＳ−４ １３ＳＴ
Antistatic
AntistaticAntistatic
AntistaticAntistatic
AntistaticAntistatic
AntistaticAntistatic
Antistatic
2928272625242322
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1918171615141312
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1
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1
12
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2
1
10
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1
9
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7
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6
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1
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1
4
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3
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1
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1
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1
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40
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1
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1
38
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1
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2
1
36
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1
35
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2
1
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1
32
1
2
31
2
1
30
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1
29
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1
23
2
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1
2
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1
20
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19
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1
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1
17
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1
14
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11
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1
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1
8
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1
5
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1
4
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1
3
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1
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1
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40
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7
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4
2
1
3
2
1
2
1
2
1
CAUTION
危 険
移動させて下さい。
プレ−シングヘッドの破損を防ぐ為，
本機との着脱時はヘッドを退避位置に
To avoid damage, move placing
head to the retract position when
attaching/removing this unit.
DANGER
上下動作中は中へ手を入れないで下さい。
指をはさまれるため危険です。
危 険
Do not place hands or feet inside
the machine while it is operating.
Serious injury may result.
DANGER
運転中は中へ手を入れないで下さい。
機械が動作するため危険です。
危 険
Never insert your hand
inside an operating machine
Moving parts may cause injury.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
EXERCISE EXTREME CAUTION
SAFETY DOOR INTERLOCKS.
THE BYPASS KEY OVERRIDES
DURIBF USE.
WARNING
DURIBF USE.
24
23
22
8
本機との着脱時は矢印の先端をシ−ルの間に合わせて下さい。
ｏｆ ｔｈｅ ａｒｒｏｗ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｃｅｎｔｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｓｔｉｃｋｅｒ．
Ｗｈｅｎ ａｔｔａｃｈｉｎｇ／ｒｅｍｏｖｉｎｇ ｔｈｉｓ ｕｎｉｔ，ａｌｉｇｎ ｔｈｅ ｔｉｐ
ＣＡＵＴＩＯＮ
注意
注意
加えないでください。基準マ−クの位置
positioning with the jig required.
If the bracket is removed,
Do not remove this bracket.
取り外した場合は治具による位置決めが必要になります。
このブラケットを取り外さないでください。
注意
CAUTION
12
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
UTILISER AVEC LES PLUS EXTREMES PRECAUTIONS.
LES SECURITES MECANIQUES LIEES AUX PORTES.
LA CLE DE DEVEROUILLAGE REND INOPERANTES
ATTENTION
36
3
4
5
Z1 BRAKE RELEASE
Ｚ１軸ブレ−キ解除
CHG PLACE HI 1
ヘッド装着高さ切り換え １
CHG PUSHER 1
ヘッドプッシャ切り換え １
BLOW ON 1
ヘッド真空破壊ＯＮ １
Ｚ２軸ブレ−キ解除
ヘッド装着高さ切り換え ２
ヘッドプッシャ切り換え ２
Z2 BRAKE RELEASE
CHG PLACE HI 2
CHG PUSHER 2
BLOW ON 2
ヘッド真空破壊ＯＮ ２
11SOL-03
11SOL-01
11SOL-02
11SOL-04
21SOL-04
21SOL-02
21SOL-01
21SOL-03
27
LOW PRESSURE CHG1
低圧切換１
LOW PRESSURE CHG2
低圧切換２
41SOL-5
42SOL-5
13
15
FGH
I
J
TSRQPON
D
KL
ECBA
14
DANGER
DANGER
Never insert your hand
inside an operating machine.
Moving parts may cause injury.
Ne jamais mettre la main dans
la machine en fonctionnement.
Risque de blessure par
des pieces en mouvement.
37
35
M
11
PRESSURE SWITCH
9
AIR
0.25MPa
28
10
6
INITIAL SETTING: -55.0kPa
2
1
ＭＡＩＮ１基板アンクランプ
ＭＡＩＮ１基板クランプ
ＯＵＴ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＮ
ＯＵＴストッパ１入り
ＯＵＴ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＦＦ
ＯＵＴストッパ１抜き
ＩＮ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＮ
ＩＮストッパ１入り
ＩＮ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＦＦ
ＩＮストッパ１抜き
ＶＡＣＵＵＭ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＭＯＮＩＴＯＲ
ＰＣＢ ＶＡＣＵＭ１ ＯＮ
基板バキュ−ム１ ＯＮ
ＭＡＩＮ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＮ
ＭＡＩＮストッパ１入り
ＭＡＩＮ ＳＴＯＰＰＥＲ１ ＯＦＦ
ＭＡＩＮストッパ１抜き
ＴＡＢＬＥ１ ＵＰ
ＴＡＢＬＥ１ ＤＯＷＮ
T1SOL-10
T1SOL-6
T1SOL-2
T1SOL-12
T1SOL-13
T1SOL-9
T1SOL-5
T1SOL-1
T1SOL-11
20
TAPE CUT FWD
33SOL1
18
19
ＮＺＬ ＣＨＧＲ ＵＰ１
16
ＮＺＬ ＳＨＴＲ ＣＬＳ２Ｙ
ノズルシャッタ閉じ２
ＮＺＬ ＳＨＴＲ ＯＰＮ２Ｙ
ノズルシャッタ開き２
42SOL-1
ＮＺＬ ＣＨＧＲ ＤＷＮ２
ノズルチェンジャ下降２
42SOL-4
42SOL-2
ＮＺＬ ＣＨＧＲ ＵＰ２
ノズルチェンジャ上昇２
42SOL-3
ノズルシャッタ開き１
41SOL-141SOL-2
ＮＺＬ ＳＨＴＲ ＣＬＳ１Ｙ
ノズルシャッタ閉じ１
ＮＺＬ ＳＨＴＲ ＯＰＮ１Ｙ
ノズルチェンジャ上昇１
41SOL-3
ＮＺＬ ＣＨＧＲ ＤＷＮ１
ノズルチェンジャ下降１
41SOL-4
7
positioning with the jig required.
If the bracket is removed,
Do not remove this bracket.
En cas de demontage utiliser
un outillage pour le positionner.
Ne pas demonter ce support.
CAUTION
ATTENTION
34
reference mark may be moved.
to this block.The coordinates
Do not remove or apply force
がずれてしまいます。
このブロックを取り外したり，強い力を
33
ＣＡＵＴＩＯＮ
ATTENTION
ce bloc. Cela pourrait modifier
reference mark may be moved.
to this block.The coordinates
Do not remove or apply force
les coordonnees de la marque
de reference.
Ne pas demonter ni forcer sur
ＣＡＵＴＩＯＮ
26
25
31
30
32
21
29
before moving the head.
Always lower the nozzle station
ヘッドを動かさないで下さい。
ノズルステーションが上昇した状態で､
注意
CAUTION
before moving the head.
Always lower the nozzle station
ヘッドを動かさないで下さい。
ノズルステーションが上昇した状態で､
注意
17
1
6
12
241813
2530
36
48
42
37
241813
36
3025
48
42
37
12
6
1
TENSIONED
GREASE
EVERY TWO WEEKS
DOWN_AIR_CTL
TABLE UP_HI
TABLE UP_LOW
TABLE DOWN_LOW
TABLE DOWN_HI