573172_Micron Maintenance Manual RO.pdf - 第74页
2 DIAGRAME DE CURĂȚARE, LUBRIFIERE ȘI ÎNTREȚINERE 2.18 Rezervor Extern de Solvent 74 MANUAL de ÎNTREȚINERE MICRON 11/2017 2.18 REZERVOR EXTERN DE SOLVENT 1 2 3 Fig.18: Vedere asupra Rezervorului Extern de Solvent Elemen…
2 DIAGRAME DE CURĂȚARE, LUBRIFIERE ȘI ÎNTREȚINERE
2.17 Curățitor Under Stencil
MANUAL de ÎNTREȚINERE MICRON 11/2017 73
2.17 CURĂȚITOR UNDER STENCIL
1
2
3
4
Fig.17: Vedere în Partea Stângă a USC
Element Descriere Element Descriere
1 Magnet USC (în 2 poziții) 3 Bloc Rulment Liniar USC (în 2
poziții)
2 Senzor Acasă USC 4 Rail Ghid Rulment Liniar al Camerei
Y (în 2 poziții)
2 DIAGRAME DE CURĂȚARE, LUBRIFIERE ȘI ÎNTREȚINERE
2.18 Rezervor Extern de Solvent
74 MANUAL de ÎNTREȚINERE MICRON 11/2017
2.18 REZERVOR EXTERN DE SOLVENT
1
2
3
Fig.18: Vedere asupra Rezervorului Extern de Solvent
Element Descriere Element Descriere
1 Recipient Solvent 3 Rezervor Extern de Solvent
2 Locație Recipient Solvent
3 UNITĂȚI DE FILTRARE ÎN VID
3.1 ÎNLOCUITOR DE FILTRU
MANUAL de ÎNTREȚINERE MICRON 11/2017 75
3
UNITĂȚI DE FILTRARE ÎN VID
3.1 ÎNLOCUITOR DE FILTRU
Se recomandă ca filtrele din unitățile de filtrare în vid să fie schimbate anual, cu numărul adecvat al
componentei listat în tabelul de mai jos
OBSERVAȚIE
Ne-înlocuirea filtrelor sau folosirea componentelor care nu ating standardul, poate avea un impact
serios asupra eficienței curățirii stencil-ului.
3.1.1 Filtre Vid
Descriere Număr articol
VF35i Filtru Carbon 173357
VF35i Standard Pre-Filtru 173358
VF35i HEPA Pre-Filtru (de folosit în camera de curățare) 173359
VF35i Trusă Filtru (1x 173357 and 1x 173358) 173373
VF35i Trusă Filtru (1x 173357 and 1x 173359) 173374
.
VF30 Filtru Carbon 225093
.
VF25 Filtru Carbon 163552
VF25 Standard Pre-Filtru 163551
VF25 Trusă Filtru (1x 163552 and 1x 163551) 173102
.
VF10 HDPE Filtru Spumă (pachet de 3) 187871