1_D4 保养.pdf - 第78页
9 维护段位器 光栅盘 D4 预防性维护 2008 年 8 月中文版 78
D4
预防性维护
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维护段位器光栅盘
2008
年
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月中文版
①顺时针转动纵向真空孔内的1.4 mm 钻头以清除污物。
转动钻头，清除孔内的污物。
②使用1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。
执行此步骤时须戴上实验室手套。
③检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。
如果损坏，则进行更换。
③用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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维护段位器光栅盘
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预防性维护
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维护段位器光栅盘
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①
用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的边缘。
②
用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘的增量盘。
③
用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘轴。
④
用浸有无水乙醇的脱脂棉签小心地清洁球状收集盘边缘。
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