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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 88 面補正 ジグ : NPM- D XY Plane Calibration Jig:NPM -D ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610112814AB Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 PLAT…

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88
面補正ジグ:NPM-D
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610112814AB
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O295
( KN610112814AB-00 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
88
面補正ジグ:NPM-D
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610112814AB
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
2
1 N210141055AA
CASE
1
2 N510057502AA X-Y Plane Calibration Jig 2 in Case;460X306
O296
--
( KN610112814AB-00 )
89-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O297
( KN610081725AA-04-1 )