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5 章 管理データ この 章 で は、 装 置稼 動 情 報、 機 種 別稼 動 情 報、 ス キ ップ & 吸着率情報などの 表示内容、操作方法な どについて説明し ています。 • 管理データの基本操作 • 装置稼働情報 • 機種別稼働情報 • スキップ & 吸着率情報 • リコールデータ 5-A Tg0984-ID-OP 041 1-003
Tg0984-ID-OP
4-27
8. クラシック
クラシックは装置フィルタの設定で、クラシック表示を行う設定の
場合に表示され、速度データ、ノズルデータ、フォーカスレベルな
ど過去の装置固有のデータを設定します。
データ項目は装置タイプにより異なります。
すべての部品形状で設定する項目です。
[ クラシック ] タブを押すと、以下のタブシートが表示されます。
Fig.D19 “クラシック”タブシートの例
8. クラシック
0803-006
5 章
管理データ
この章では、装置稼動情報、機種別稼動情報、スキップ &
吸着率情報などの表示内容、操作方法などについて説明し
ています。
•
管理データの基本操作
•
装置稼働情報
•
機種別稼働情報
•
スキップ & 吸着率情報
•
リコールデータ
5-A
Tg0984-ID-OP
0411-003
5-B
Tg0984-ID-OP
0401-002