03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA.pdf - 第65页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 65 7. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie Buchsenkopfschrauben (2) (in 2 Positionen) und A…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
64 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
9. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
10. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.9 Wellenführung Baugruppe Austausch
Es gibt zwei mittlere Platte Wellenführung Baugruppen pro APC-Modul, falls ein Austausch erfor-
derlich ist, dann sollten beide Baugruppen in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.9.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) von dem ersten Führungsschlitten. Lassen Sie die Pneumatik Rohrbogen (2)
(in 2 Positionen) am Führungsschlitten (3) befestigt.
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5. Bewegen Sie den Führungsschlitten von dessen Halterung und lassen Sie ihn über der Hin-
terseite des Moduls hängen, das Gewicht wird durch die immer noch befestigten, pneumati-
schen Anschlüsse gestützt.
6. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 5 für den anderen Führungsschlitten.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 65
7. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie Buchsenkopfschrauben
(2) (in 2 Positionen) und Ausgleichscheiben (1) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte.
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8. Für den Zugang mit dem Schraubenschlüssel, heben Sie die mittlere Platte leicht an. Benut-
zen Sie einen 5,5 mm AF Maulschlüssel (1), um zu verhindern, dass sich die Zylinderstange
dreht, entfernen Sie die Hubzylinder Ansatzschrauben, welche die mittlere Platte mit dem
Hubzylinder verbinden.
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9. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel (2), entfernen Sie die Senkkopfschrau-
be (3), welche den Sensor (4) an der mittleren Platte befestigt. Führen Sie den Sensor wieder
zurück durch das Durchgangsloch.
10. Entfernen Sie die mittlere Platte Baugruppe.
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66 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
11. Benutzen Sie einen 3 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (2) (in
2 Positionen), welche die Wellenführung Baugruppe (1) an der Unterseite der Baugruppe
befestigen.
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12. Entfernen Sie die Wellenführung Baugruppe.
13. Wiederholen Sie die Schritte 11 bis 12 für die andere Wellenführung Baugruppe.
2.7.9.2 Austauschen
1. Benutzen Sie IPA-Tücher und reinigen Sie die Hubzylinder Halterungsflächen (1) auf der
Unterseite der Baugruppe.
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